http://ir-heat-parts.com/zh/tags/tool/ Recent content in Tool on IR Heating Lamp Parts Hugo zh Tue, 21 Jul 2026 04:05:00 +0800 http://ir-heat-parts.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Tue, 21 Jul 2026 04:05:00 +0800 http://ir-heat-parts.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="晶圆加工设备用温度传感器"></p> <h1 id="停止给工具加热而是将热量直接传递到晶圆上">停止给工具加热，而是将热量直接传递到晶圆上</h1> <p>普通的红外灯其实就跟普通灯泡没<a href="https://o-yate.com">什么两样</a>——它们会将热量向各个方向散发。对于晶圆加工设备来说，这显然是个大问题。<br> 当您提高加热功率时，大部分能量并不会作用<a href="https://goldisgood.com">于晶圆上</a>，而是直接撞击到设备的内部结构上。这样一来，设备的内部部件就可能会因为过热而变形，更糟糕的是，操作人员在日常维护时还可能被烫伤。</p> <h2 id="将热量精确地传递到需要的地方">将热量精确地传递到需要的地方</h2> <p>为了解决这个问题，我们采用了定向红外技术。与其使用普通的石英管来释放热量，不如使用专门的反射器和涂层来引导热量。<br> 这就好比用手电筒而不是蜡烛来照明——我们让红外能量直接照射在晶圆表面，同时避免其散射到设备外壳上。<br> 由于光束更加集中，因此就不必再浪费能量在设备外壳上了。热量能够精确地到达需要它的地方。此外，设备的外壳也能保持凉爽，从而提升工作场所的安全性。</p> http://ir-heat-parts.com/zh/posts/semiconductor-inspection-tool-heater/ Tue, 30 Jun 2026 05:28:44 +0800 http://ir-heat-parts.com/zh/posts/semiconductor-inspection-tool-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="半导体检测工具加热器"></p> <p>在检测过程中，<a href="https://goldisgood.com">稳定性是以</a>度来衡量的，而非分钟。在光刻胶烘焙过程中，即使只有几十分之一的温度偏差，也足以影响产品的关键尺寸；而其中的微粒污染则可能破坏整个产品的质量。<a href="https://o-yate.com">我们设计了</a>这种加热器，就是为了消除这些误差。</p> <p><strong>我们的设计思路</strong> 我们采用了短波红外元件以及石英强化结构来确保加热的均匀性。升温速度很快，晶圆表面的温度均匀性可保持在±0.1℃左右。无论是在温和烘焙还是强力烘焙过程中，设定温度都能保持稳定，从而避免曝光和显影过程中的误差。</p>