লিথোগ্রাফিতে, ওয়েফার ড্রাইং ওভেনটি শুধুমাত্র আর্দ্রতা অপসারণের জন্যই ব্যবহৃত হয় না। এটাই পরবর্তী ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়াগুলোর জন্য উপযুক্ত তাপমাত্রা নির্ধারণ করে। চাকের উপর ২°C তাপমাত্রার পার্থক্য থাকলে ওয়েফারের রেখার আকারে পরিবর্তন ঘটে; এই পরিবর্তনটি কোনো মেট্রোলজি চার্টে দেখা যায় না, যতক্ষণ না ওয়েফারের গুণমান কমতে থাকে। আমরা এই সমস্যা এড়াতে ওয়েফার ড্রাইং ওভেনের হিটিং এলিমেন্টটি বিশেষভাবে ডিজাইন করেছি।
এর কোরটি হলো কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এলিমেন্ট; এর সাথে মাইক্রো-জোনড রিফ্লেক্টর অ্যারেও রয়েছে। এটি পুরো ব্যাচের ওয়েফারগুলোর তাপমাত্রাকে ±০.১°C এর মধ্যে রাখে; আর সেটপয়েন্টের পুনরাবৃত্তি হয় ±০.২°C এর মধ্যে। এই এলিমেন্টটি ক্লাস ১–১০০ ধরনের ক্লিনরুম পরিবেশে কাজ করে; ফলে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। কম গ্যাস নির্গমন এবং সিলড ডিজাইনের কারণে দূষণ রোধ হয়। তাপমাত্রা দ্রুত ও নিয়ন্ত্রণযোগ্য হওয়ায়, ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ার জন্য ঠিক তাপমাত্রা অর্জন করা যায়।
ফলে, ওয়েফারগুলোর গুণমান স্থিতিশীল থাকে এবং পুনর্কাজের প্রয়োজন কমে যায়। এই এলিমেন্টটি ২৪/৭ কাজ করে; আর নিয়ন্ত্রিত তাপমাত্রার কারণে প্রতি চক্রে শক্তি অপচয় কমে যায়। একাধিক ওভেনেও একই ধরনের ড্রাইং/বেকিং ফলাফল পাওয়া যায়।
ইনস্টলেশনটি সহজ; কিন্তু তাপীয় সংযোগকে একটি “প্রক্রিয়া ভেরিয়েবল” হিসেবে বিবেচনা করতে হবে। ওভেনের বায়ুপ্রবাহ ও এলিমেন্টের মাউন্টিং টলারেন্সই আসল সমানতা নির্ধারণ করে; তাই পরিবর্তনের পর চেম্বারের ক্যালিব্রেশন যাচাই করতে হবে। এলিমেন্টটিকে স্বতন্ত্র অংশ হিসেবে নয়, তাপীয় সিস্টেমের অংশ হিসেবে বিবেচনা করলে ওভেনটি প্রতিবারই নির্ধারিত মানে কাজ করবে।