در فرآیند لیتوگرافی، تغییرات دمایی در دستگاه PEB با نورهای هشداردهنده مشخص نمیشوند؛ بلکه این تغییرات منجر به تغییرات در عرض خطوط روی ویفرها میشود، و در نهایت منجر به کاهش بازدهی تولید میگردد؛ کاهشی که هیچ روش بازرسیای نمیتواند آن را تشخیص دهد. در کارخانههای تولید، پایداری حرارتی یک مورد ضروری است؛ زیرا این پایداری، پایه و اساس کنترل فرآیند تولید محسوب میشود.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:
ما دستگاه گرمایشی PEB را بر اساس الکترومغناطیسهای مادون قرمز کوتاهامواج و ساختارهای حرارتی مبتنی بر کوارتز ساختیم؛ به این ترتیب، یکنواختی دمایی در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. مقادیر دمایی نیز در هر بار کار، به طور دقیق تکرار میشوند؛ این امر باعث پایداری فرآیند تولید میشود. این سیستم مناسب برای استفاده در اتاقهای پاک است؛ مواد مورد استفاده نیز به گونهای انتخاب شدهاند که ایجاد ذرات در سیستم را به حداقل برسانند. این سیستم میتواند ۲۴ ساعته بدون توقف کار کند؛ همچنین مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، بدون اینکه پایداری حرارتی تحت تأثیر قرار بگیرد.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟
این دستگاه گرمایشی، مشکلاتی را که در فرآیند PEB وجود دارد، مرتفع میکند؛ مانند نقاط داغ، تغییرات در اندازههای حیاتی وضعیتهای مختلف، و زمان طولانی برای بازگشت سیستم به حالت عادی پس از تغییرات در دستورالعملها. وقتی که دمای فرآیند یکنواخت باقی بماند، کنترل اندازههای حیاتی بهتر خواهد شد و میزان کارهای تکراری کاهش خواهد یافت. زمان انجام کار نیز بهبود خواهد یافت؛ زیرا دستگاه به سرعت به مقدار دمای مورد نظر میرسد و آن را حفظ میکند. همچنین، میزان مواد باكیفیت تولید شده نیز افزایش خواهد یافت؛ زیرا پروفایل دمایی ویفرها تحت تأثیر نوسانات دمایی قرار نمیگیرد. در بلندمدت، کاهش تغییرات دمایی منجر به کاهش هزینه تولید هر ویفر و همچنین حفظ یکنواختی محصولات تولید شده میشود.
چیزهایی که باید در نظر گرفت:
هنگام نصب این دستگاه، باید به واسطههای تخلیه گاز و سیستمهای خنککننده توجه کرد؛ اگر این واسطهها مناسب نباشند، میتوانند باعث ایجاد نوسانات حرارتی شوند. همچنین، این دستگاه به منبع تغذیه پایدار و کنترلکنندههای مناسب نیاز دارد. باید این سیستم را با تیم تجهیزات مربوطه برنامهریزی کرد، و قبل از شروع کار، پروفایل دمایی را با اهداف مشخص شده بررسی کرد.