در فرآیند بازرسی، پایداری دمایی ابزارها بر حسب درجه اندازهگیری میشود، نه دقیقه. حتی کمی تغییر دما در حین فرآیند حرارتدهی کافی است تا ابعاد مهم قطعات تحت تأثیر قرار بگیرند؛ همچنین، وجود ذرات ناخواسته نیز میتواند باعث اختلالات جدی شود. ما این دستگاه گرمایشی را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرد.
کارهایی که انجام دادیم: از عناصر مادون قرمز با طول موج کوتاه و ساختار حرارتی مبتنی بر کوارتز استفاده کردهایم. سرعت افزایش دما بالاست و یکنواختی دما در سطح ویفر حدود ±۰٫۱ درجه سانتیگراد است. مقادیر تنظیم شده در طول فرآیندهای حرارتدهی ثابت باقی میمانند؛ بنابراین، مقادیر مربوط به نورپردازی و فرآیندهای تولید نیز تغییر نمیکنند.
این دستگاه برای استفاده در اتاقهای پاک با سطح پاکیزگی کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، این دستگاه دارای رابطهای بسته و موادی با میزان گاز خروجی کم است که باعث کاهش تعداد ذرات ناخواسته میشود. این دستگاه میتواند روز به روز کار کند، حتی ۲۴ ساعته؛ تغییر دما نیز در هر ۱۰۰۰ ساعت کمتر از ۰٫۰۵ درجه سانتیگراد است.
چرا این دستگاه در فرآیندهای بازرسی عالی عمل میکند: در فرآیندهای بازرسی، این دستگاه دمای نقطه مورد نظر را ثابت نگه میدارد؛ در نتیجه، تغییرات ناشی از شرایط محیطی کاهش مییابد و شرایط حرارتی در هر دور تولید یکسان باقی میماند. این امر منجر به کاهش تعداد محصولات با کیفیت پایین و افزایش بازدهی تولید میشود. پاسخ سریع این دستگاه و میزان اتلاف انرژی کم، مصرف انرژی را کنترل میکند؛ همچنین، زمان نگهداری کم، زمان تعمیرات را کاهش میدهد. هیچ مشکلی وجود ندارد؛ فقط بازدهی قابل اعتمادی در اختیار شماست.
چه چیزهایی لازم است: سازگاری این دستگاه به معماری مکانیکی، سیستم تغذیه انرژی و رابط کنترلی آن بستگی دارد. زمان تحویل کانکتورها، ولتاژها و قطعات مربوط به نصب، ۲ تا ۳ هفته است.
برای بهترین عملکرد، مطمئن شوید که سیستم تخلیه گاز و سیستم خنککننده دستگاه با بار حرارتی آن سازگار باشد؛ در غیر این صورت، پایداری مقادیر تنظیم شده کاهش خواهد یافت.