سنسور دما برای ابزار ویفر
دیگر نیازی نیست ابزار را گرم کنید؛ بلکه باید ویفر را گرم کنید.
لامپهای مادون قرمز استاندارد، در واقع لامپهای عادی هستند؛ یعنی گرما را به تمام جهات...
هیتر ابزار بازرسی نیمههادی
در فرآیند بازرسی، پایداری دمایی ابزارها بر حسب درجه اندازهگیری میشود، نه دقیقه. حتی کمی تغییر دما در حین فرآیند حرارتدهی کافی است تا ابعاد مهم...