Obtenir la plus grande quantité possible de chaleur sur la tranche de silicium
Lorsque l’on travaille dans un vide, on se heurte à un problème : il n’y a pas de convection. Il n’y a pas d’air pour transporter la chaleur. Il ne reste donc que la radiation, et c’est là que les choses deviennent compliquées.
Si vous concevez un chauffage infrarouge pour les tranches de silicium, votre principal adversaire est la fuite de chaleur. vous ne voulez pas que votre énergie précieuse s’échappe vers les parois de la chambre. Vous voulez que la chaleur atteigne directement le substrat. C’est tout.
Pourquoi choisir l’or ?
Vous pourriez être tenté d’utiliser de l’aluminium poli ou de l’acier inoxydable. Ne le faites pas. Ces matériaux absorbent beaucoup trop d’énergie. Nous utilisons plutôt des revêtements en or de haute pureté. Pourquoi ? Parce que l’or est extrêmement efficace dans le domaine des rayonnements infrarouges : il reflète plus de 98 % de cette radiation. En enveloppant l’élément chauffant d’or, nous lui disons en quelque sorte : « Ne va pas vers les pompes à vide ou le boîtier. Retourne plutôt vers la tranche de silicium ».
Cela signifie que chaque watt que vous utilisez est vraiment utilisé efficacement.
Cibler la chaleur
Mais il ne suffit pas de simplement refléter la lumière. Nous voulons aussi diriger cette chaleur vers un point précis. En arrondissant ce revêtement en or, nous pouvons créer une « zone chaude » concentrée. C’est un avantage énorme pour votre processus de travail : vous atteignez plus rapidement les températures souhaitées, et la chaleur reste uniforme sur toute la surface de la tranche de silicium.
Le meilleur aspect ? Vous obtenez cette densité de chaleur intense sans avoir à augmenter trop la tension électrique, ce qui pourrait endommager l’élément chauffant.
Les inconvénients
Or, l’or est certes efficace, mais il est aussi fragile. Vous ne pouvez pas utiliser de pads abrasifs ou des produits chimiques agressifs pour nettoyer les réflecteurs. Sinon, vous risquez de détruire le revêtement en or. Une fois cela arrivé, l’efficacité du système diminue considérablement. De plus, comme la chaleur est très concentrée, il faut faire attention à la masse thermique du substrat. Sinon, vous risquez de créer des points chauds locaux.
Si vous construisez un système pour un traitement rapide des tranches de silicium, cette solution avec revêtement en or est la meilleure. Elle réduit le temps de préchauffage et évite le gaspillage d’énergie. Un conseil professionnel : vérifiez bien les supports de fixation. Vous ne voulez pas que des frottements mécaniques endommagent ces surfaces revêtues en or.