בשלב זה, בו מתבצעת תהליך החימום של הפוטורזיסט, נקבעת רמת הדיוק של רוחב הקווים. שינוי של רק 0.5°C בטמפרטורת החימום עלול לגרום לשינוי ברוחב הקווים, להיווצרות לכלוך ולבזבוז חומרים. חלקי החימום של Leybold נועדו לשמור על רמת הטמפרטורה הרצויה, שעה אחר שעה, בתנאי ואקום.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגופי פליטה הלוגניים בעלי גל אור קצר, המיוצרים מקוורץ ברמת טוהר גבוהה – דבר שמאפשר עלייה מהירה בטמפרטורה ואחידות גבוהה בכל שטח הוואפר. גוף החימום מתאים לשימוש בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, והעיצוב שלו מונע היווצרות של חלקיקים במהלך החימום. רמת היציבות של הטמפרטורה היא ±0.1°C, כך שפרופילי החימום נשארים עקביים. הספק החשמלי מותאם למערכות של Leybold, עם חיבורים סטנדרטיים שמאפשרים החלפה קלה ומהירה של החלקים. הבידוד באמצעות סיבי פחמן מאפשר לחום להישאר במקומו, ובכך לחסוך באנרגיה מבלי לפגוע ביעילות המערכת.
למה זה חשוב בתהליך הליתוגרפיה? תהליך עיבוד הפוטורזיסט אינו סובל שום חוסר עקביות. פרופיל חימום יציב מאפשר פחות עבודות תיקון ושיעור ההצלחה בפעם הראשונה גבוה יותר. חלקים אלו מאפשרים שמירה על הפרופיל התרמי הרצוי, כך שרמת האחידות של הקווים עולה והקצרת רוחב הקווים פוחתת. המערכת יכולה לפעול 24/7, ובכך לשמור על עקביות באלפי מחזורים, מה שמפחית את זמן העצירה הבלתי צפוי ואת הזמן הנדרש לתיקונים.
הערות להתקנה: ההתקנה פשוטה, אך סביבת החדר חייבת להיות נקייה ויבשה – שאריות של חומרים מהתהליך עלולות לגרום להתבלות מהירה של גופי הפליטה. יש להתאים את המתח ואת כיוון החיבורים למודל הספציפי של Leybold, ולוודא את סוג התרמוקפל. יש לתכנן את ההחלפה באופן מוקדם, ולא רק בעת חירום. כך ניתן לשמור על עקביות בתהליך.