हमने वेफरों को सुखाने हेतु IR क्यों चुना?
जब कोई फैब्रिकेशन प्रक्रिया चल रही होती है, तो “पर्यावरण-अनुकूल” एवं “लीड-रहित” रहने का दबाव केवल ऑडिट के लिए ही नहीं होता… बल्कि इसका उद्देश्य वास्तव में प्रक्रिया को अधिक स्वच्छ बनाना होता है। लंबे समय तक हम बड़े आकार के कंवेक्शन ओवनों पर ही निर्भर रहे। लेकिन समस्या यह है कि बड़ी मात्रा में हवा को गर्म करना ऊर्जा की बर्बादी है। इसके अलावा, ऐसी हवा धूल एवं कणों के प्रसार का कारण भी बनती है… जो कि वेफरों के लिए बिल्कुल भी अच्छा नहीं है।
इसी कारण हमने इन्फ्रारेड (IR) तकनीक को चुना। इस तकनीक में हवा की आवश्यकता ही नहीं है।
यह तो ऊर्जा-हस्तांतरण का ही तरीका है।
पूरे कमरे को गर्म करने के बजाय, IR लैंप विद्युत ऊर्जा को सीधे वेफर तक पहुँचाते हैं। इसे ठंडे दिन में सूर्य की रोशनी में खड़े होने जैसा ही समझें… आपको तुरंत ही गर्मी महसूस हो जाती है, भले ही आसपास की हवा बर्फ जैसी ठंडी ही क्यों न हो।
ऊर्जा सीधे ही फोटोरेसिस्ट/विलायक में मौजूद अणुओं को कंपित करती है। चूँकि यह प्रक्रिया बहुत ही सीधी है, इसलिए किसी विशेष तापमान तक पहुँचने हेतु बड़े आकार के हीटिंग तत्वों की आवश्यकता ही नहीं है। इससे प्रत्येक वेफर पर खर्च होने वाली ऊर्जा में कमी आ जाती है।
सब कुछ स्वच्छ एवं पर्यावरण-अनुकूल ही रहता है।
जब अनावश्यक चीजों को हटा दिया जाता है, तो पर्यावरणीय मानकों को पूरा करना बहुत ही आसान हो जाता है। IR सिस्टम बिजली से ही काम करते हैं… इनमें कोई दहन गैसें नहीं हैं, न ही हीटिंग तत्वों में लीड जैसे पदार्थ हैं… कुछ भी गंदा नहीं है।
हम इसे “ड्राई” प्रक्रिया कहते हैं… गर्मी को एक जगह से दूसरी जगह ले जाने हेतु किसी रासायनिक मिश्रण की आवश्यकता ही नहीं है… यह तो बस काम करता ही है।
लेकिन चुनौती तो इंजीनियरिंग संबंधी ही है…
यह तो इतना आसान भी नहीं है… यदि ऊर्जा की मात्रा बहुत अधिक हो जाए, तो वेफर की सतह बहुत जल्दी ही सूख जाती है… जिससे विलायक उसके नीचे ही फंस जाता है… इससे वेफरों पर बुलबुले या छिलने जैसी समस्याएँ हो जाती हैं… जो कि उत्पादन हेतु बहुत ही खतरनाक है।
रहस्य तो तरंगदैर्घ्य में ही है… यदि तेज़ गति चाहिए, तो शॉर्टवेव का उपयोग किया जाता है… जबकि गहराई तक गर्मी पहुँचाने हेतु मीडियम-वेव का उपयोग किया जाता है।
एक और सलाह – लैंपों के लिए कूलिंग फैनों का उपयोग जरूर करें… यदि ऐसे फैन न हों, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएँगे।
सबसे अच्छी बात यह है कि अब आप उन बड़े आकार के ओवनों को हटा सकते हैं… आप एक छोटे आकार के क्यूरिंग टनल से ही काम चला सकते हैं… आपको “पर्यावरण-अनुकूल” प्रमाणपत्र भी मिल जाएगा… स्थान भी बच जाएगा… एवं उत्पादन दर भी वैसी ही रहेगी।