फैब फ्लोर पर, सुखाने के दौरान तापमान में होने वाले उतार-चढ़ाव कोई मामूली समस्या नहीं है; ऐसी स्थिति से उत्पादन प्रक्रिया पर गंभीर प्रभाव पड़ता है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में तापमान को नियंत्रित रखना आवश्यक है। यदि वेफर पर तापमान समान न हो, तो इसका परिणाम आकार संबंधी त्रुटियों के रूप में सामने आता है। हमने ऐसी स्थितियों को रोकने हेतु ही यह लैंप विकसित किया है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज कवरों में शॉर्ट-वेव हैलोजन तत्वों का उपयोग करते हैं; ऐसा इसलिए किया जाता है ताकि त्वरित प्रतिक्रिया एवं स्थिर स्पेक्ट्रल आउटपुट प्राप्त हो सके। यह लैंप, चक में ±0.1°C की स्थिरता बनाए रखता है, जबकि सेटपॉइंट की पुनरावृत्ति ±0.5°C के भीतर होती है। इसका आउटपुट 300–400 नैनोमीटर पर कैलिब्रेट किया गया है, ताकि फोटोरेजिस्ट का अवशोषण स्थिर रहे, एवं विलायकों का वाष्पीकरण भी स्थिर रहे। यह लैंप मानक लैंप सॉकेटों में फिट होता है, एवं क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी इसका उपयोग किया जा सकता है। सील्ड ज्यामिति एवं कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों के कारण कणों का उत्पादन कम रहता है, जिससे प्रक्रिया के दौरान कणों की संख्या स्थिर रहती है।
लिथोग्राफी में इसका क्या उपयोग है?
सुखाने की प्रक्रिया, लाइन-विस्तार नियंत्रण एवं दोषों की संख्या निर्धारित करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती है। इस लैंप के उपयोग से तापमान स्थिर रहता है; इसलिए “सॉफ्ट बेक” प्रक्रियाएँ निर्धारित मानकों के अनुसार ही होती हैं, एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ भी नियमित रूप से ही होती हैं।
इसके फायदे क्या हैं?
कम रीवर्किंग की आवश्यकता होती है, क्रिटिकल डाइमेंशनों का वितरण बेहतर रहता है, एवं प्रक्रिया का समय भी अनुमानित रहता है। कुशल रूप से ऊर्जा का उपयोग होने के कारण ऊर्जा खपत कम होती है, एवं लैंप की उपयोग अवधि 5,000+ घंटों तक होती है… जिससे स्पेयर पार्ट्स की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
कुछ ध्यान देने योग्य बातें:
लैंप को टूल के रिफ्लेक्टर एवं थर्मल कंट्रोल सर्किट से जोड़ना आवश्यक है। चक की विकिरण क्षमता एवं सेंसरों की स्थिति की जाँच आवश्यक है… अन्यथा अतिरिक्त ऊर्जा उत्पन्न हो सकती है। लैंप की कार्य करने हेतु निर्धारित तापमान सीमा है… इस सीमा से अधिक तापमान पर लैंप की उपयोग अवधि कम हो जाती है। सुरक्षित फिक्सचरों का उपयोग करें, एवं स्वच्छ तरीके से ही लैंप को संभालें… ताकि कोई दूषण न हो।