फैब फ्लोर पर, जल्द ही यह समझ में आ जाता है कि अगर स्पिन ड्रायर से निकलने वाले वेफर में 1.2°C तक का तापमान-अंतर हो, तो वह लिथोग्राफी प्रक्रिया की आवश्यक तापमान-सीमाओं से बाहर चला जाता है। जैसे-जैसे नोड्स छोटे होते जाते हैं, फोटोरेसिस्ट के उपचार हेतु आवश्यक तापमान-सीमाएँ भी कड़ी होती जाती हैं… इसमें कोई आश्चर्य नहीं है। ड्रायिंग लैंप को तेज़ी से, एवं बिना किसी कण के उत्सर्जन के ही तापमान प्रदान करना होता है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे ड्रायिंग लैंपों का उपयोग करते हैं, जिनमें शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर होते हैं। ऐसे लैंप वेफर पर समान तापमान-क्षेत्र उत्पन्न करते हैं। प्रक्रिया-स्तर पर ±0.1°C की तापमान-सटीकता ही लक्ष्य है। तेज़ तापमान-प्रतिक्रिया से प्रक्रिया-समय कम हो जाता है… एवं लैंप को क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही उपयोग किया जा सकता है… कोई कण भी नहीं उत्सर्जित होता। 5,000+ घंटों तक आउटपुट 1% के भीतर ही स्थिर रहता है… इसलिए बेकिंग-प्रक्रिया भी स्थिर रहती है।
फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में यह क्यों कारगर है?
समानता ही उत्पादन-दर को बनाए रखने में महत्वपूर्ण है। सब-मिलीमीटर स्तर पर तापमान-वितरण से वेफर पर लाइनों की चौड़ाई स्थिर रहती है… जिससे पुनः-प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है। लैंप कुछ ही सेकंडों में निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है… इससे सॉफ्ट/हार्ड बेकिंग का समय कम हो जाता है। ऊर्जा-उपयोग भी कम हो जाता है… क्योंकि वेफर ही गर्म होता है, कमरा नहीं। प्रत्येक शिफ्ट में एकसमान परिणाम प्राप्त होते हैं… अपशिष्ट माल कम हो जाता है… एवं उपभोग्य-पदार्थों पर होने वाला खर्च भी कम हो जाता है।
सही तरीके से काम करने हेतु क्या आवश्यक है?
लैंप को चेंबर की ज्यामिति एवं कंट्रोलर की PID प्रतिक्रिया के अनुरूप ही स्थापित करना होता है। अनुपयुक्त रिफ्लेक्टर या कम शक्ति वाला पावर सप्लाई, समानता को नष्ट कर देता है। वोल्टेज कम होने पर भी निर्धारित तापमान बनाए रखने हेतु 24 वोल्ट की नियंत्रण-लाइन आवश्यक है। क्वार्ट्ज एनवेलप एवं माउंटिंग हार्डवेयर की जाँच भी आवश्यक है… क्योंकि कुछ रसायनों से लैंप क्षतिग्रस्त हो सकता है। एक बार सही ढंग से स्थापित/कैलिब्रेट करने के बाद, रखरखाव बहुत ही कम हो जाता है… लेकिन स्थापना-सटीकता 0.2 मिमी के भीतर ही होनी चाहिए।