फैब फ्लोर पर, PECVD चैंबर का तापमान कोई सामान्य सेटिंग नहीं है… यही वह बिंदु है जहाँ प्रक्रिया सफल होती है या असफल हो जाती है। ससेप्टर में 1°C का भी अंतर, फिल्म पर लगने वाले दबाव एवं एटच रेट में असमानता का कारण बन जाता है। यदि इन्फ्रारेड एमिटर अपना काम ठीक से नहीं कर पाता, तो आप अब मानकों का पालन नहीं कर पाएंगे… आपको तो बर्बाद उत्पाद ही मिलेंगे।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज एन्वलप में शॉर्ट-वेव NIR हैलोजन घटकों का उपयोग करते हैं… क्योंकि ऐसे घटक तापमान को तुरंत संशोधित कर सकते हैं, एवं स्पेक्ट्रल नियंत्रण में भी मदद करते हैं। इसके परिणामस्वरूप, एक्टिव ज़ोन में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… एवं बार-बार प्रक्रिया करने पर भी तापमान स्थिर ही रहता है। यह उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूम में ही इस्तेमाल किया जा सकता है… एवं ऑपरेशन के दौरान कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता। न तो कोई गैस निकलती है, न ही कोई खरोंच… बस स्थिर ऊष्मा ही उत्पन्न होती है।
व्यावहारिक रूप से इसका क्या महत्व है?
PECVD में, तापमान ही फिल्म निर्माण की गति, फिल्म का घनत्व एवं फिल्म पर लगने वाले दबाव को निर्धारित करता है। एमिटर, तापमान को तेज़ी से नियंत्रित करने में मदद करता है… इससे चक्र समय कम हो जाता है, और फिल्म की गुणवत्ता भी बनी रहती है। जब फोटोरेजिस्ट का उपयोग किया जाता है, तो यही तापमान नियंत्रण ही फिल्म की गुणवत्ता को बनाए रखने में मदद करता है… एवं फिल्म की चौड़ाई भी नियंत्रित रहती है। ऊर्जा की खपत भी अनुकूलित हो जाती है… एवं एमिटर 24/7 चल सकता है… इससे उपकरण का उपयोग समय पर ही होता है।
ऐसी विवरण जिनके लिए आप बाद में आभारी रहेंगे…
इस उपकरण की स्थापना, ससेप्टर की ज्यामिति के अनुरूप ही होनी चाहिए… एवं तापीय रूप से भी स्थिर होना आवश्यक है… ताकि तापमान में कोई असमानता न हो। क्वार्ट्ज भाग मजबूत होते हैं… लेकिन रखरखाव के दौरान उनका सावधानीपूर्वक ध्यान रखना आवश्यक है… क्योंकि खरोंचें एमिटर की क्षमता को प्रभावित कर सकती हैं… एवं फिल्म निर्माण प्रक्रिया में बाधा डाल सकती हैं। रिप्लेसमेंट की योजना बनाते समय, एमिटर के आउटपुट को चैंबर के तापीय लोड प्रोफाइल के अनुरूप ही रखना आवश्यक है… एवं इसकी जाँच इन-सिटू मेट्रोलॉजी के द्वारा ही की जानी चाहिए।