IRエネルギーを無駄にしないでください
正直に言って、エネルギーの無駄遣いは、基本的には設計上の欠陥です。ウェーハ処理の際にも、これはよく見られる問題です。多くの人が標準的なアルミニウム製の反射板を使っていますが、問題は、そのIRエネルギーの多くが外に漏れ出したり、ケースに吸収されてしまうことです。これは明らかな無駄遣いです。
だからこそ、私たちは金コーティングされた反射板を使用します。金は赤外線を効率的に反射する能力があります。そうすることで、装置のフレームが無駄に熱くなることがなく、そのエネルギーはウェーハに正しく届きます。
なぜ金が研磨済みのアルミニウムより優れているのか
ほとんどの工場では、基準として研磨済みのアルミニウムを使用しています。それでも機能はしますが、波長が長くなると効果が低下します。
一方、金は異なります。ランプから放出される長波長のIR放射をより多く捕捉できます。反射板に金を重ねることで、そのエネルギーを集中させることができます。そうすることで、高出力のランプを使わなくても、目標とする部分に十分な熱が加わります。
熱について
ただし、エネルギーをこんなに集中させると、ランプの温度が急上昇します。
開口部を通過しない熱を処理できる冷却システムが必要です。もし空気の流れが悪ければ、期待よりも早くフィラメントが壊れてしまいます。ウェーハ全体で温度を安定させるために、通常は高出力の石英ランプと一緒に使用します。そうすることで、温度のバランスが保たれます。
安装方法
良いニュースは、これらの反射板を交換するのは非常に簡単だということです。通常は、反射板を交換するだけで済みます。配線や電源装置を改造する必要はありません。
しかし、重要なのは、PIDコントローラーを再調整することです。
金コーティングの方が熱を効率的に伝えるため、以前の設定値では過剰な熱が発生する可能性があります。基板を損傷しないように、出力を少し下げる必要があります。