IRランプがウエハーを損傷させるのを防ぎましょう。
高負荷の半導体製造環境では、1つの不良なランプだけで、数秒で大量のウエハーが破壊されてしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。石英管が破れると、ガラスの破片や微粒子が直接ウエハー上に降り注ぎます。
そこで、私たちはセラミック製のエンドキャップを使用しています。これは簡単な対策ですが、それによってすべてが安定し、何よりも重要なのは、清潔を維持できるという点です。
熱に対処する方法
IRエミッターは非常に高温になります。特にシール部分では、熱膨張が激しくなります。もし普通の金属製の支持部品を使ったら、問題が生じます。
そこで、私たちは高純度のセラミック製のキャップに変更しました。これらはまるで熱緩衝材のような役割を果たし、石英管と電気端子の間に位置して、加熱・冷却サイクルによる機械的ストレスを吸収します。これにより、高ワット数の電力が流れても石英管が割れるのを防げます。
汚染を封じ込める
金属製のキャップの実際の問題点は、酸化してしまうことです。時間が経つと剥がれ落ち、金属の粉がクリーンルーム内に飛び散ります。これは避けたいことです。
一方、セラミック製のキャップは化学的に安定しています。もし管が壊れても、セラミック製のキャップがフィラメントを封じ込めてくれます。そうすることで、破片がウエハー表面に飛び散るのを防ぎます。これにより、問題を一箇所に留めておき、全体の生産を止めずに対処できます。
注意すべき点
ただし、これは魔法ではありません。何かしらの妥協が必要です。
セラミック製のキャップは、通常の金属製のキャップよりも大きくなります。スペースを多く取ります。交換する前に、必ずケースの隙間を確認してください。
もしマウントブラケットがきつすぎると、セラミック製のキャップに横方向の圧力がかかります。セラミック製のキャップは曲がらない代わりに割れてしまいます。十分なスペースを確保しましょう。
プロのアドバイス
私たちは、わずかな汚染でも許されない環境においては、常にセラミック製のキャップを推奨します。電源接続部と石英管の間にセラミック製のインターフェースを設けることで、重大な故障のリスクを大幅に減らすことができます。
ただし、必ず安定した電源に接続してください。電圧の急変はシール部分に悪影響を与えます。安定した電源供給が重要です。