バイオセンサー製造ラボでのチューブの破損という悪夢を防ぐには
正直に言って、バイオセンサーの製造中に赤外線ランプが壊れてしまうと、それは大惨事です。単に機械が1時間ほど停止するだけではありません。ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハ上に降り注ぎます。1本のチューブが破損すれば、大量の製品がダメになり、クリーンルーム全体を清掃しなければなりません。これは誰も望むことのない問題です。だからこそ、私たちはそのような「二次的な汚染」が起こらないように、特別な赤外線ランプを開発したのです。
汚れを内部に留める
まず、高純度の融成石英を使用します。何度も加熱・冷却される際のストレスに耐えられるように、壁の厚さを厚くしています。しかし、それだけではありません。
さらに、破損に強いスリーブや内部のメッシュも追加しました。これはまるでセーフティネットのようなものです。フィラメントが壊れても、ガラスが揺れ動くことはありません。つまり、作業エリアにガラスの破片が散乱することはありません。
また、電極と石英が接する部分にも密封処理を施しています。ここが通常、問題が発生する箇所です。私たちは、高温になってもガスを放出しない特殊な密封剤を使用しています。そのため、工程室内に奇妙な化学物質が漏れ出ることはありません。
熱に対処する
大量生産を行う際、これらのランプは非常に熱くなります。割れを防ぐために、フィラメントのワット数と長さの比率を慎重に調整しています。
なぜかというと、Hot Spotが問題の原因だからです。チューブの一部が他の部分よりも大幅に高温になると、石英が不均等に膨張し、結果として割れが生じます。
ちなみに、冷却ファンがランプの出力に合っているか確認してください。空気の流れが悪くなると、チューブの温度が急上昇し、破損の原因となります。
重要な細部
私たちは標準的なコネクタを使用しています。なぜなら、確実な電気的接続が最も重要だからです。接続が緩むとアークが発生し、それが微小な亀裂を引き起こし、最終的には故障につながります。
面倒かもしれませんが、500時間ごとに配線を確認してください。1分程度しかかかりませんが、高速運転時にランプが振動するのを防ぎます。安定したランプこそが安全なランプです。