爆発を防ぐために：化学処理エリアでの赤外線加熱
半導体製造工場で働いている人なら、この問題はよくわかるでしょう。化学的な洗浄処理は必要ですが、その過程では揮発性の高い溶剤が使用されます。もし、通常の赤外線ランプをその中に入れてしまうと、ウェーハを加熱するだけでなく、火災の危険も生じます。
私たちは、より良い方法を考え出しました。すべてを露出させる従来の設計の代わりに、特殊な耐爆シェルで全体を覆います。
密封の仕組み
これは、保護用のバブルのようなものです。赤外線ランプを高品質な石英やホウケイ酸ガラスで包み、厳しい化学物質にも耐えられるガスケットで端を固定します。これにより、加熱要素と周囲の空気との間に硬い壁ができます。つまり、化学物質の蒸気がチャンバー内に漏れ込んでも、熱いタングステンフィラメントには到達できないのです。
密閉処理により、ガスの交換が全く行われなくなります。これには2つの利点があります。第一に、腐食性のある蒸気がランプの内部を傷つけるのを防ぎます。これが、ランプが早期に故障する原因の多くです。第二に、電気端子から発生する微小な火花も内部に留まり、火災の原因となるものから遠ざけられます。
熱と応力の対処
問題は、熱によって物が動いてしまうことです。密封が厳しすぎると、石英が膨張し、ガラスが割れてしまい、安全装置が機能しなくなります。
私たちは、石英が急速に膨張・収縮しても密封が壊れないように、柔軟性のある構造を採用しています。しかし、空気の流れにも注意が必要です。たとえ電子機器がシェルの中で安全であっても、外側のガラスは非常に高温になります。排気システムが不十分だと、他の部品も過熱してしまいます。これは簡単な解決策ですが、しばしば見過ごされがちです。
ラインへの導入
最良の点は、これらのランプはほぼそのまま交換可能だということです。ライン全体を再設計する必要はありません。また、機械が振動するため、強化されたコネクタを使用しています。可燃性のある環境で、ワイヤーが緩んでしまうのは避けたいですからね。
熱源を隔離することで、まるでガソリンにマッチを近づけないようになります。仕事を効率的に進めるために必要な高い温度を得られる一方で、火災の危険もないのです。