ツールを加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう 通常の赤外線ランプは、基本的には電球のようなもので、熱をあらゆる方向に放出します。ウェーハ処理用の装置では、これは大きな問題となります。 加熱を強くすると、そのエネルギーの大部分がウェーハに届かず、代わりに装置の内壁に当たってしまいます。その結...

検査時においては、安定性は分単位ではなく度単位で測定されます。フォトレジストを焼成する際にわずか数十分のずれがあっても、重要な寸法に影響を与える可能性があります。また、粒子の発生も大きな問題となり得ます。そこで、この検査用ヒーターを開発したのです。これにより、そのようなばらつきを排除できます。 内...