検査時においては、安定性は分単位ではなく度単位で測定されます。フォトレジストを焼成する際にわずか数十分のずれがあっても、重要な寸法に影響を与える可能性があります。また、粒子の発生も大きな問題となり得ます。そこで、この検査用ヒーターを開発したのです。これにより、そのようなばらつきを排除できます。
内部構造について 短波長の赤外線素子と、石英を使用した断熱設計を採用しています。加熱速度が速く、ウェーハ全体の均一性は±0.1℃程度です。ソフトベイクでもハードベイクでも、設定値は一定に保たれるため、露光や現像の条件が変動することはありません。
この装置はクリーンルームのクラス1～100に適しており、密封されたインターフェースやガス放出が少ない材料を使用しているため、粒子の数が安定しています。24時間365日稼働しても、1,000時間ごとの温度変動は0.05℃以下です。
なぜ検査に適しているのか 検査時には、ヒーターによってチャック周辺の温度が安定します。その結果、見通しの悪さが解消され、毎回同じ条件で焼成処理が行えます。これにより、再加工や廃棄物が減少し、一貫した品質が保たれます。迅速な応答性と低い待機時のエネルギー消費により、エネルギー効率も良好です。また、長期間の使用寿命により、メンテナンスの頻度も少なくて済みます。つまり、信頼できる高い歩留まりが得られるのです。
必要な準備事項 互換性は、装置の機械的構造、電力供給、制御インターフェースによって決まります。コネクタや電圧、取り付けに関するカスタマイズには2～3週間かかります。 最良の性能を得るためには、検査装置の排気や冷却システムがヒーターの熱負荷に合致していることが重要です。そうでない場合、設定値の安定性が失われます。