Mengapa Kami Beralih ke Kaedah Pengeringan menggunakan Cahaya Inframerah
Ketika mengendalikan proses pembuatan semikonduktor, tekanan untuk memastikan proses tersebut berlangsung secara “mesra alam” dan tanpa penggunaan bahan berbahaya bukan sekadar syarat yang perlu dipenuhi semasa audit sahaja – ia merupakan aspek penting dalam memastikan proses tersebut berjalan dengan lebih efisien. Untuk waktu yang lama, kami bergantung pada ketuhar konveksi yang bersaiz besar. Namun, masalahnya ialah memanaskan udara dalam kuantiti yang banyak merupakan pembaziran tenaga. Selain itu, udara yang bergerak tersebut akan membawa debu dan zarah-zarah berbahaya, yang tentunya tidak diinginkan berdekatan dengan wafer tersebut.
Itulah sebabnya kami beralih kepada kaedah pengeringan menggunakan cahaya inframerah. Dengan cara ini, kita tidak perlu menggunakan udara sama sekali.
Ia melibatkan pemindahan tenaga secara langsung.
Daripada memanaskan seluruh bilik, lampu inframerah menghantar radiasi elektromagnetik secara langsung ke wafer tersebut. Bayangkanlah seperti berdiri di bawah sinar matahari pada hari yang sejuk; anda akan merasakan haba tersebut dengan segera, walaupun udara di sekeliling anda sangat sejuk. Tenaga tersebut akan membuat molekul-molekul dalam bahan fotoresist atau pelarut bergetar. Kerana prosesnya sangat efisien, kita tidak perlu menggunakan elemen pemanas yang besar untuk mencapai suhu tertentu. Proses pengeringan berlaku dengan cepat. Ini seterusnya mengurangkan penggunaan tenaga untuk setiap wafer yang diproses.
Mempertahankan kebersihan dan kelestarian alam sekitar.
Memenuhi standard alam sekitar menjadi lebih mudah apabila kita menghilangkan bahan-bahan yang tidak diperlukan. Sistem inframerah beroperasi menggunakan elektrik sahaja. Tiada gas pembakaran, tiada aloi yang mengandungi plumbum dalam elemen pemanas – semuanya bersih.
Kami menyebutnya sebagai proses “pengeringan kering”. Tidak perlu menggunakan campuran bahan kimia untuk memindahkan haba dari satu tempat ke tempat lain. Ia berfungsi dengan efektif.
Cabaran teknikal yang perlu dihadapi.
Namun, ia bukanlah sesuatu yang mudah. Jika intensiti cahaya terlalu tinggi, permukaan wafer akan kering terlalu cepat, sehingga pelarut tertinggal di bawahnya. Ini akan menyebabkan timbulnya gelembung atau lapisan kulit pada permukaan wafer, yang tentunya merosakkan kualiti wafer tersebut.
Rahsianya terletak pada panjang gelombang cahaya yang digunakan. Gunakan gelombang pendek jika anda ingin kelajuan yang tinggi, dan gelombang sederhana jika anda ingin haba yang cukup untuk menembusi bahan tersebut dengan lebih dalam.
Tips tambahan: Jangan abaikan fungsi kipas penyejuk pada kotak lampu tersebut. Jika kotak tersebut menjadi terlalu panas, lampu tersebut akan rosak lebih cepat daripada yang sepatutnya.
Yang paling baik? Anda boleh meninggalkan ketuhar yang besar itu. Gantikan saja dengan alat pengeringan yang lebih kompak. Dengan cara ini, anda dapat mendapatkan sijil “mesra alam”, menjimatkan ruang, dan memastikan proses pengeluaran berjalan seperti yang diharapkan.