
Memaksimumkan Panas pada Wafer
Ketika bekerja dalam keadaan vakum, anda akan menghadapi masalah: proses konveksi tidak berlaku. Tidak ada udara yang boleh membawa haba tersebut. Yang tinggal hanyalah radiasi, dan itulah yang menyebabkan masalah.
Jika anda ingin mencipta pemanas inframerah untuk wafer, musuh utama anda adalah “kebocoran haba”. Anda tidak mahu tenaga berharga tersebut hilang ke dinding bilik tersebut. Anda mahu haba tersebut sampai ke permukaan wafer sahaja.
Mengapa kita gunakan emas
Anda mungkin tergoda untuk menggunakan aluminium atau keluli tahan karat yang telah dipolis. Jangan lakukan itu. Bahan-bahan ini akan menyerap terlalu banyak tenaga.
Kami menggunakan lapisan emas yang berkualiti tinggi sebagai gantinya. Mengapa? Kerana emas sangat efektif dalam menangkis radiasi inframerah—sekitar 98% daripada radiasi tersebut akan dipantulkan kembali. Dengan melapisi unsur pemanas dengan emas, kita sebenarnya memberitahu haba tersebut, “Jangan pergi ke pam vakum atau bahagian lain. Kembali saja ke wafer.”
Ini bermakna setiap watt tenaga yang digunakan benar-benar digunakan untuk memanaskan wafer.
Mengarahkan haba
Tetapi sekadar memantulkan cahaya saja tidak cukup. Kita perlu mengarahkan haba tersebut ke titik tertentu. Dengan membentuk pelindung emas tersebut, kita dapat mencipta “zon panas” yang terfokus. Ini sangat membantu proses pemanggangan wafer. Suhu yang diinginkan dapat dicapai dengan lebih cepat, dan haba akan tersebar secara merata di seluruh permukaan wafer.
Yang terbaiknya, anda boleh mendapatkan kepadatan haba yang tinggi tanpa perlu meningkatkan voltan secara drastik sehingga filamen rosak.
Kelemahan
Namun, emas memang bagus, tetapi ia juga rapuh. Anda tidak boleh menggunakan alat pembersih yang kasar atau bahan kimia yang kuat untuk membersihkan permukaan emas tersebut. Jika dilakukan begitu, lapisan emas akan terkelupas. Apabila itu berlaku, kecekapan sistem akan menurun.
Selain itu, kerana haba sangat terfokus, anda perlu memastikan jisim termal permukaan wafer stabil. Jika tidak, akan timbul kawasan panas di permukaan wafer.
Jika anda ingin membina sistem untuk proses pemanggangan yang efisien, penggunaan lapisan emas merupakan pilihan yang tepat. Ia dapat mengurangkan masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer, serta mengelak pembaziran tenaga. Tips tambahan: pastikan bracket pemasangan anda sesuai. Anda tidak mahu adanya geseran mekanikal yang boleh merosakkan permukaan emas tersebut.