Hentikan pembaziran masa: Mengapa penggunaan haba inframerah lebih baik daripada udara panas untuk memanaskan wafer
Jika anda pernah terlibat dalam proses pengeluaran semikonduktor, pasti anda tahu betapa menyakitkannya harus menunggu lama. Penggunaan udara panas untuk memanaskan wafer ibarat cuba memanaskan seluruh rumah hanya untuk memanaskan secawan kopi sahaja. Anda perlu memanaskan bilik tersebut terlebih dahulu, kemudian udara di dalamnya, dan akhirnya barulah wafer tersebut dipanaskan. Proses ini sangat lambat. Ia juga menyebabkan kelewatan yang menjengkelkan, sehingga merosakkan produktiviti kerja anda.
Penggunaan haba inframerah pula berbeza. ia menghilangkan keperluan untuk menggunakan udara sebagai perantara. Sebaliknya, tenaga dipancarkan secara langsung ke atas wafer. Ia sangat cepat.
Dengan penggunaan udara panas, anda perlu berhadapan dengan masalah inersia termal. Anda perlu meluangkan masa yang banyak untuk memanaskan atau menyejukkan wafer. Masa tersebut tidak dapat digantikan semula, dan ia akan mengurangkan produktiviti anda. Dengan lampu inframerah pula, suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam beberapa saat sahaja. Ini memberikan kawalan yang lebih baik. Anda tidak perlu menunggu pengudaraan berlaku; anda boleh terus bekerja.
Namun, anda tidak boleh sekadar meletakkan lampu tersebut di situ sahaja. Jarak antara sumber cahaya dan wafer sangat penting. Jika lampu diletakkan terlalu dekat, ia akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas, atau bahkan merosakkan tepi wafer. Jika lampu diletakkan terlalu jauh pula, kelajuan yang diinginkan tidak akan dapat dicapai.
Kami biasanya mengira jarak yang sesuai agar haba dapat sampai ke seluruh permukaan wafer secara merata. Selain itu, kerana lampu inframerah menghasilkan tenaga yang banyak, diperlukan sistem penyejukan yang efektif. Jika tidak, peralatan lain akan menyerap haba tersebut, dan tiada siapa yang mahu peralatan yang terlalu panas untuk disentuh.
Sejujurnya, penggunaan haba inframerah bukanlah penyelesaian yang sempurna untuk segala masalah. Ada trade-off yang perlu dipertimbangkan. Dengan ketuhar konveksi, jika wafer sedikit menyimpang, ia biasanya bukan masalah besar. Udara akan memenuhi ruang tersebut. Namun, dengan penggunaan haba inframerah, penempatan wafer sangat penting. Sedikit kesilapan dalam penempatan boleh menyebabkan wafer menjadi rosak.
Pada dasarnya, anda menukar kesederhanaan penggunaan udara dengan kelajuan yang ditawarkan oleh haba inframerah. Bagi kebanyakan orang, ini merupakan pertukaran yang berbaloi.