Stop de scherven: houd je wafers schoon wanneer de hittebronnen falen
In een productielijn voor semiconductoren is het kapotgaan van een infraroodlamp veel meer dan alleen een ‘onderhoudsprobleem’. Het is een nachtmerrie.
Stel je voor dat er een kwartstub in je glovebox knapt. Plotseling vallen er glasfragmenten en halogengas recht op je wafers. Hierdoor gaat je opbrengst meteen verloren.
We bouwen onze infraroodverwarmers zo dat dit niet kan gebeuren.
Waarom lampen eigenlijk kapotgaan
Meestal komt het door thermische schokken of lokale hittepunten. Om dit tegen te gaan, gebruiken we hoogzuiver gefuseerd kwarts met een wanddikte die bestand is tegen snelle opwarm- en afkoelprocessen zonder te barsten.
Maar we stopten daar niet bij. We hebben ook een versterkte buitenlaag toegevoegd.
Dit is belangrijk: als het filament kapotgaat, zal de buis niet zomaar breken. Hij behoudt zijn vorm. Dat betekent dat je geen katastrofale explosie in je productieomgeving krijgt.
Het voorkomen van vuil
We gebruiken ook een tweede beschermingslaag. Door een high-temperature-kwartssleeve of een speciale coating te gebruiken, creëren we een barrière tussen de verwarmer en je productieproces.
Hierdoor blijven de materialen van de lamp op hun plek – binnenin de lamp – en komen ze niet in contact met de lucht in je glovebox.
Een tip over de kabels: De aansluitingen op de kabels zijn meestal de eerste onderdelen die onder hoge temperaturen kapotgaan. We gebruiken versterkte eindkapjes om lekken alvast tegen te gaan.
De balans vinden
Er is natuurlijk een compromis. Je wilt meer vermogen, zodat de wafers sneller op temperatuur komen. Maar meer vermogen betekent ook meer spanning op het kwarts.
Als je de maximale warmtedichtheid wilt bereiken, moet je ervoor zorgen dat de ventilatie in je glovebox de overtollige hitte weghaalt. Als de omgeving te heet wordt, gaan de lampen eerder kapot. Het is simpel.
We maken deze verwarmers als vervangende onderdelen. Je kunt ze snel vervangen, de glovebox gesloten houden en weer aan het werk gaan, zonder dat je je productieomgeving in gevaar brengt.