Почему мы заменяем теплый воздух на инфракрасное излучение в чистых комнатах
В процессе обработки полупроводников всё сводится к одному фактору – времени. Если вы по-прежнему используете принудительную циркуляцию воздуха для сушки или дегазации, вы, наверняка, сталкивались с проблемой: печь просто не может справиться с объемом работ. Поэтому многие из нас переходят на использование инфракрасного нагрева.
Вот в чем заключается разница. Традиционные печи нагревают воздух, а затем ждут, пока этот воздух нагреет деталь. Этот процесс медленный. Существует так называемая «термическая задержка» – тепло должно пройти через слой воздуха, прежде чем достигнуть детали. Это похоже на попытку обогреть комнату с помощью обогревателя – приходится ждать, пока воздух нагреется.
Инфракрасное излучение работает иначе. Оно направляет электромагнитные волны прямо на объект нагрева. В чистых комнатах это огромное преимущество: нет необходимости использовать мощные потоки горячего воздуха, что значительно снижает риск загрязнения деталей. К тому же не нужно ждать, пока печь «стабилизируется». Достаточно просто включить её и продолжить работу.
Скорость нагрева – это самое большое преимущество. Мы видели, что время нагрева сокращается на 50–80%. Поскольку материал поглощает тепло напрямую, целевая температура достигается почти мгновенно. Это позволяет обрабатывать гораздо больший объем деталей, без необходимости расширять помещение для установки дополнительного оборудования.
Но инфракрасное излучение не является решением всех проблем. Оно работает только тогда, когда лампа может «видеть» деталь. Если речь идет о деталях со сложной формой или с глубокими углублениями, возникают проблемы с освещением. Лучи не могут проходить за углы, поэтому некоторые участки остаются холодными, в то время как другие нагреваются.
Чтобы решить эту проблему, необходимо быть креативными – использовать множество ламп или устройства с возможностью вращения, чтобы все участки детали получали нагрев. Еще один момент: инфракрасное излучение очень интенсивно. Поэтому датчики должны работать без ошибок. Если они работают слишком медленно, можно перегреть деталь, прежде чем вы успеете это заметить.