ในกระบวนการผลิตแผง LCD ความแปรปรวนของอุณหภูมินั้นไม่ใช่เรื่องที่สามารถมองข้ามได้เลย เพราะมันจะส่งผลให้คุณภาพของผลิตภัณฑ์ลดลง ในโรงงานผลิตแผง LCD แม้จะมีจุดที่มีอุณหภูมิสูงขึ้นเพียงจุดเดียวระหว่างกระบวนการอบวัสดุฟอโตเรซิสต์ ก็อาจส่งผลให้คุณภาพของผลิตภัณฑ์ลดลงได้ ในทางกลับกัน บริเวณที่มีอุณหภูมิต่ำเกินไปก็จะทำให้วัสดุไม่สามารถเซ็ตตัวได้อย่างสมบูรณ์ เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดขึ้นมา เพื่อขจัดความแปรปรวนเหล่านี้ตั้งแต่ต้น
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เราใช้เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดคลื่นสั้นพร้อมองค์ประกอบควอตซ์ที่มีความสามารถตอบสนองได้เร็ว ทำให้ความร้อนสามารถถูกส่งไปยังวัสดุได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่ส่งผลกระทบต่ออากาศภายในห้อง ด้วยวิธีนี้ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิววัสดุจะอยู่ในช่วง ±0.1°C การควบคุมแบบลูปปิดช่วยให้อุณหภูมิคงที่ได้ดี ทำให้คุณภาพของผลิตภัณฑ์ยังคงสม่ำเสมอในแต่ละรอบการผลิต เครื่องทำความร้อนนี้เหมาะสำหรับการใช้งานในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 เนื่องจากใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และออกแบบมาให้ไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ
นี่คือเหตุผลว่าทำไมเครื่องทำความร้อนนี้จึงมีประสิทธิภาพในกระบวนการลิธโกกราฟีและการประมวลผลวัสดุฟอโตเรซิสต์ เพราะในกระบวนการเหล่านี้ อุณหภูมิมีความสำคัญมาก เครื่องทำความร้อนนี้ช่วยให้วัสดุมีอุณหภูมิที่สม่ำเสมอได้อย่างรวดเร็ว ทำให้เวลาในการผลิตลดลงโดยไม่ส่งผลต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่สูงขึ้นยังช่วยลดข้อบกพร่องที่ขอบวัสดุ และเพิ่มประสิทธิภาพในการผลิต นอกจากนี้ การออกแบบที่เหมาะสมยังช่วยให้มีอนุภาคในห้องน้อยลง ซึ่งช่วยปกป้องคุณภาพของผลิตภัณฑ์ได้ นอกจากนี้ ยังช่วยประหยัดพลังงาน เพราะความร้อนจะถูกส่งไปยังวัสดุโดยตรง ไม่ได้กระจายไปทั่วห้อง
มีข้อควรระวังอีกบางข้อ นั่นคือ เครื่องทำความร้อนนี้จำเป็นต้องถูกติดตั้งในตำแหน่งที่มองเห็นได้ชัดเจน และต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่มีความเสถียร การเปลี่ยนแปลงของแรงดันไฟฟ้าจะส่งผลให้อุณหภูมิที่ได้ไม่สม่ำเสมอ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่มีความเสถียร และต้องมีการตรวจสอบระยะห่างระหว่างเครื่องทำความร้อนกับวัสดุด้วย เมื่อติดตั้งเสร็จแล้ว ระบบจะสามารถทำงานได้เป็นเวลานานโดยไม่ต้องบำรุงรักษา แต่การปรับตำแหน่งและความสะอาดก็ยังเป็นสิ่งจำเป็นในการบำรุงรักษาเป็นประจำ