IR enerjinizi boşa harcamayı bırakın
Dürüst olalım: Enerji israfı aslında bir tasarım hatasıdır. Wafer işleme süreçlerinde bunu sık sık görüyoruz. Çoğu kişi standart alüminyum yansıtıcılar kullanıyor; ancak sorun şu ki, bu IR enerjisinin büyük bir kısmı ya dışarı sızıyor ya da cihazın gövdesi tarafından emiliyor. Bu da bir israf demektir.
İşte bu yüzden altın kaplamalı yansıtıcılar kullanıyoruz. Altın, kızılötesi ışığı daha iyi yansıtabilir. Böylece makinenizin gövdesi gereksiz yere ısınmak yerine, bu enerji doğru yere, yani wafere gidiyor.
Neden altın, parlak alüminyumdan daha iyidir?
Çoğu işletme, temel bir malzeme olduğu için parlak alüminyum kullanıyor. Bu yöntem işe yarıyor; ancak dalga boyu uzadıkça işlevsiz hale geliyor.
Altın ise farklıdır. Lambadan gelen uzun dalga boylu kızılötesi radyasyonun çok daha büyük bir kısmını yakalayabilir. Altını yansıtıcı üzerine ekleyerek bu enerjiyi yoğun ve odaklanmış bir ışın haline getirebiliriz. Böylece daha yüksek ısı yoğunluğu elde edilir ve sistem üzerindeki yük azalır.
Isı konusuyla ilgili bir not
İşin kötü yanı şu: Enerjiyi bu kadar yoğunlaştırdığınızda lambanın sıcaklığı artacaktır. Eğer soğutma sisteminiz bu ısıyı kontrol edemiyorsa, filamentleriniz erken yanabilir. Tüm waffer üzerinde stabil bir sıcaklık sağlamak için bu yansıtıcıları genellikle yüksek güçlü kuvars lambalarla birlikte kullanırız. Bu sayede termal profiller kontrol altında kalır.
Kullanımı
İyi haber şu ki, bunların değiştirilmesi oldukça basit. Genellikle yansıtıcı birimin yerine takılması yeterli. Kablo bağlantılarıyla veya güç kaynağıyla uğraşmanıza gerek yok.
Ancak burada önemli olan bir nokta var: PID kontrol cihazlarını yeniden ayarlayın.
Altın kaplama, ısı transferinde çok daha verimli olduğu için eski ayarlar muhtemelen yetersiz kalacak. Yüzeyin yanmaması için gücü biraz azaltmanız gerekebilir.