Kızılötesi ısıtma mı, zorla hava akışlı ısıtma mı? Hangisi temiz oda ihtiyaçlarınız için daha uygun?
Yarı iletken üretiminde zorla hava akışlı ısıtmadan kızılötesi ısıtmaya geçmek sadece bir ekipman değişikliği değildir; bu, enerji kullanımı konusunda tamamen farklı bir yaklaşımdır.
Bir an için zorla hava akışlı ısıtmayı düşünün. Aslında devasa bir hava kabarcığını ısıtıyorsunuz ve umarız bu ısı sonunda yüzeye ulaşır. Bu işlem çok uzun sürer. Sadece odanın ısınmasını bekliyorsunuz ve bu “bekleme süresi”, verimliliğiniz için büyük bir engeldir.
Hız farkı inanılmazdır.
Kızılötesi ısıtmada ise elektromanyetik radyasyon kullanılır. Bunun için havaya ihtiyaç yoktur; doğrudan hedefe ulaşır ve anında ısıya dönüşür.
Bunu en çok waferlerin pişirilmesinde veya kurutulmasında görüyoruz. Havanın ısınmasını beklemek yerine saniyeler içinde işlem tamamlanır. Bu gerçekten çok hızlıdır. Ve bu da üretim kapasitenizi artırır.
Ancak başka bir sorun daha var…
Hava dolaşım sistemleri aslında parçacık taşıyan cihazlardır. HEPA filtreleriniz ne kadar pahalı olursa olsun, eğer hava üfleniyorsa silikonunuzun kirlenme riski vardır.
Kızılötesi ısıtıcılar ise hareketsiz durur. Ne üfleyici vardır, ne de tozu uçuşturan rüzgarlar. Daha küçük bir alan gerektirir ve daha önemlisi, çok daha temiz bir çalışma ortamı sağlar.
Ama her şey bu kadar basit değil. Bir dezavantajı var…
Kızılötesi ısıtıcılar yönlendirilebilir cihazlardır. Tıpkı bir el feneri gibi… Eğer lambaların konumu yanlışsa veya yansıtıcıların açıları uygun değilse, sıcak noktalar oluşur.
Konveksiyon fırınlarında olduğu gibi “ayarlayıp unutmak” mümkün değildir. Konumlandırmada hassas olmak gerekir. Eğer bir noktaya fazla güç uygulanırsa, sensörler ne olduğunu anlamadan sıcaklık kontrol dışına çıkabilir ve waferlerde bozulmalar meydana gelebilir.
Kurulum için biraz daha fazla dikkat gerekiyor, ancak mesafe ve güç ayarları doğru yapıldığında işler tamamen farklı bir seviyeye ulaşır.