Litografi bölümünde, PEB sıcaklığındaki değişiklikler uyarı ışığı şeklinde görünmez. Bu değişiklikler, tüm üretim alanında line width’deki dalgalanmalar olarak ortaya çıkar; sonrasında ise hiçbir denetimin belirleyemeyeceği bir verim kaybı meydana gelir. Bir üretim tesisinde termal tekrarlanabilirlik bir tercih değil, süreç kontrolünün temel unsurlarından biridir.
Teknik açıdan önemli olanlar
PEB ısıtıcısını, kısa dalga boylu kızılötesi elemanlar ve kuvars bazlı termal yapılar kullanarak tasarladık. Böylece wafer seviyesindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C aralığında kalır. Sıcaklık ayarları her seferinde tutarlı şekilde gerçekleşir; bu da fotoresistanın kimyasal reaksiyonlarının stabil kalmasını sağlar. Sistem, Partikül üretimini sıfır seviyesinde tutacak şekilde tasarlanmıştır ve Class 1–100 standartlarına uyumludur. 24/7 çalışır ve termal stabiliteyi bozmadan enerji tüketimini düşürür.
Neden pratikte işe yarıyor?
Bu ısıtıcı, PEB’de karşılaşılan sorunların üstesinden gelmek için kullanılır: Sıcak noktalar, kenarlardaki dalgalanmalar ve formül değişikliklerinden sonra meydana gelen yavaş toparlanma süreleri. Eğer pişirme işlemi tutarlıysa, kritik boyut kontrolü daha iyi olur ve yeniden işleme ihtiyacı azalır. Aletin ayar noktasına hızla ulaşıp orada kalması sayesinde döngü süreleri iyileşir. Fotoresistan profilinin sıcaklık dalgalanmalarına karşı direnci arttığı için atık miktarı azalır. Zamanla, pişirme ile ilgili sorunlar azaldığı için her wafer için maliyet düşer ve üretim kalitesi daha istikrarlı hale gelir.
Doğru yapılması gerekenler
Montaj sırasında egzoz ve soğutma sistemlerine dikkat edilmelidir. Eğer boru hatları uyumlu değilse, homojenliği bozacak termal histerезisler meydana gelebilir. Isıtıcının ayrıca stabil bir güç kaynağına ve odanın geometrisine göre kalibre edilmiş bir kontrol cihazına ihtiyacı vardır. Entegrasyonu ekipman ekibinizle birlikte planlayın ve başlamadan önce SPC hedeflerinize uygun olup olmadığını kontrol edin.