فیبرکی سطح پر، خشک کرنے کے دوران درجہ حرارت میں تغیرات کوئی معمولی مسئلہ نہیں ہے؛ یہ مسئلہ پیداواری صلاحیت پر برا اثر ڈالتا ہے۔ “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” کے عمل میں درجہ حرارت کو کنٹرول کرنا بہت ضروری ہے، اور اگر ویفر کے مختلف حصوں میں درجہ حرارت یکساں نہ ہو، تو اس کی وجہ سے سائز سے متعلق خرابیاں پیدا ہو جاتی ہیں۔ ہم نے اس ویفر خشک کرنے والے لیمپ کو اسی مقصد کے لئے تیار کیا ہے، تاکہ درجہ حرارت میں ہونے والے تغیرات کو روکا جاسکے۔
لیمپ کے اندرونی عناصر کی اہمیت
ہم کوارٹز کے خولوں میں شارٹ-ویو ہیلوجن عناصر استعمال کرتے ہیں؛ ان کا انتخاب تیز ردِعمل اور مستحکم طیفی خصوصیات کی وجہ سے کیا گیا ہے۔ یہ لیمپ، چک کے مختلف حصوں میں ±0.1°C کی سطح پر درجہ حرارت کو مستحکم رکھتا ہے، جبکہ سیٹ پوائنٹ کی درستگی ±0.5°C کے اندر ہے۔ اس لیمپ کا آؤٹ پٹ 300–400 نینومیٹر کے دائرہ میں ہے، تاکہ فوٹوریزسٹ کی جذب کرنے کی صلاحیت برقرار رہے، اور حل کا بخاراتی اخراج بھی مستحکم رہے۔ یہ لیمپ معیاری لیمپ ساکٹوں میں فٹ ہوتا ہے، اور اس کی وولٹیج اور پاور کی قیمتیں بھی معیاری ہیں۔ یہ لیمپ کلاس 1 سے کلاس 100 تک کے کلین روموں کے معیارات کے مطابق ہے۔ بند ڈھانچہ اور کم گیس خارج کرنے والے مواد کی وجہ سے ذرات کی تعداد کم رہتی ہے، جس سے پروسیس کے دوران ذرات کی تعداد برقرار رہتی ہے۔
لیتھوگرافی میں اس لیمپ کی کارکردگی
خشک کرنے کے عمل سے لائنوں کی چوڑائی اور نقائص کی کثافت کو کنٹرول کیا جاتا ہے۔ اس لیمپ کی بدولت درجہ حرارت مستحکم رہتا ہے، جس سے “سافٹ بیک” کے عمل میں درجہ حرارت کنٹرول میں رہتا ہے، اور “ہارڈ بیک” کے عمل میں بھی درجہ حرارت مستحکم رہتا ہے۔
فوائد
تیار کردہ مصنوعات کی تعداد کم ہوتی ہے، کرٹیکل ڈائمینشن کی تقسیم بہتر ہوتی ہے، اور پروسیس کا وقت بھی مستحکم رہتا ہے۔ کارکردگی بہتر ہونے کی وجہ سے توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، اور لیمپ کی عمر 5,000 گھنٹوں سے زیادہ ہوتی ہے، جس سے سپیئر پارٹس کی ضرورت کم ہوتی ہے۔
تنصیب سے متعلق نوٹس
لیمپ کو ٹول کے ریفلیکٹر ڈھانچے اور تھرمل کنٹرول سسٹم کے مطابق ہی نصب کرنا ضروری ہے۔ چک کی اخراجی صلاحیت اور سینسر کی جگہ کی بھی جانچ ضروری ہے؛ ورنہ مسائل پیدا ہو سکتے ہیں۔ لیمپ کے لئے مخصوص درجہ حرارت کی حد موجود ہے؛ اگر اس حد سے زیادہ درجہ حرارت ہو، تو ذرات کا خطرہ بڑھ جاتا ہے، اور لیمپ کی عمر بھی کم ہو جاتی ہے۔ مناسب فکسچرز کا استعمال کریں، اور صاف ستھرے طریقے سے ہی لیمپ کو سنبھالیں، تاکہ کوئی آلودگی پیدا نہ ہو۔