ویفر پر زیادہ سے زیادہ حرارت پہنچانا
جب آپ ویکیوم ماحول میں کام کرتے ہیں، تو آپ کے سامنے ایک مسئلہ ہوتا ہے: کنویکشن کا عمل ختم ہو جاتا ہے۔ ہوا موجود نہیں ہے، جس کے ذریعے حرارت منتقل ہو سکے۔ اب صرف تابکاری ہی باقی رہ جاتی ہے، اور یہی وہ جگہ ہے جہاں مشکلات پیدا ہوتی ہیں۔
اگر آپ ویفروں کے لئے انفرا ریڈ ہیٹر ڈیزائن کر رہے ہیں، تو آپ کا سب سے بڑا دشمن “لیکیج” ہے۔ آپ نہیں چاہتے کہ آپ کی قیمتی توانائی چیمبر کی دیواروں میں ضائع ہو جائے۔ آپ چاہتے ہیں کہ یہ توانائی براہ راست ویفر پر پڑے۔
ہم گولڈ کا استعمال کیوں کرتے ہیں؟
آپ شاید پالش شدہ الومینیم یا اسٹینلیس اسٹیل کا استعمال کرنا چاہیں، لیکن ایسا نہ کریں۔ یہ مواد بہت زیادہ توانائی جذب کر لیتے ہیں۔ ہم اس کے بجائے اعلیٰ خالصیت والے گولڈ کوٹنگ کا استعمال کرتے ہیں۔ کیوں؟ کیونکہ گولڈ انفرا ریڈ شعاعوں کے معاملے میں بہترین ہے – یہ 98% تک تابکاری کو واپس منعکس کر دیتا ہے۔ گولڈ کوٹنگ کے ذریعے، ہم دراصل حرارت کو یہ پیغام دیتے ہیں کہ “ویکیوم پمپوں یا چیمبر کی دیواروں کی طرف نہ جاؤ، بلکہ واپس ویفر پر ہی رہو۔”
اس کا مطلب یہ ہے کہ آپ جو بھی توانائی خرچ کرتے ہیں، وہ واقعی کام میں استعمال ہوتی ہے۔
حرارت کو مرکوز کرنا
لیکن صرف روشنی کو منعکس کرنا کافی نہیں ہے۔ ہمیں اسے مرکوز کرنا ہے۔ گولڈ کوٹنگ کو ٹیڑھا کرکے، ہم ایک مرکوز “گرم علاقہ” تخلیق کر سکتے ہیں۔ یہ آپ کے کام کے لئے بہت فائدہ مند ہے۔ آپ مطلوبہ درجہ حرارت تک جلدی پہنچ جاتے ہیں، اور حرارت پورے ویفر پر یکساں طور پر پھیل جاتی ہے۔
سب سے اچھی بات یہ ہے کہ آپ اتنی زیادہ حرارت حاصل کر سکتے ہیں، بغیر وولٹیج کو اتنا زیادہ بڑھانے کی ضرورت کے، کہ فلامنٹ ٹوٹ جائے۔
مشکلات
لیکن گولڈ بہت نازک ہے۔ آپ اسے صاف کرنے کے لئے کسی خشک صفائی کرنے والے مواد یا تیز کیمیکلز کا استعمال نہیں کر سکتے۔ ایسا کرنے سے کوٹنگ ختم ہو جائے گی، اور پھر آپ کی کارکردگی خراب ہو جائے گی۔
اس کے علاوہ، چونکہ حرارت بہت مرکوز ہوتی ہے، لہذا آپ کو اپنے ویفر کے تھرمل ماس پر بھی نظر رکھنی ہوگی۔ اگر آپ احتیاط نہ کریں، تو وہاں مقامی طور پر گرم نقاط پیدا ہو جائیں گے۔
اگر آپ ہائی-تھروپٹ اینیلنگ کے لئے سسٹم بنا رہے ہیں، تو گولڈ کوٹنگ والا یہ سسٹم بہترین اختیار ہے۔ یہ آپ کے کام کے وقت کو کم کرتا ہے، اور توانائی کی بربادی کو روکتا ہے۔ ایک اور مشورہ: اپنے ماؤنٹنگ بریکٹس کی اچھی طرح جانچ کریں۔ آپ نہیں چاہتے کہ کوئی میکانی رگڑ ان کوٹنگ شدہ سطحوں پر پڑے۔