Hãy ngừng lãng phí năng lượng hồng ngoại của bạn đi.
Thành thật mà nói, việc lãng phí năng lượng chính là một khuyết điểm trong thiết kế. Trong quá trình xử lý wafer, chúng ta thường gặp tình trạng này. Hầu hết mọi người vẫn sử dụng các tấm phản xạ bằng nhôm thông thường, nhưng vấn đề là một lượng lớn năng lượng hồng ngoại bị lãng phí hoặc bị hấp thụ bởi vỏ máy. Đó thực sự là sự lãng phí.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các tấm phản xạ được phủ bằng vàng. Vàng có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại tốt hơn nhiều. Nhờ đó, năng lượng hồng ngoại sẽ được chiếu trực tiếp vào wafer, thay vì khiến khung máy bị nóng lên một cách không cần thiết.
Tại sao vàng lại tốt hơn nhôm được đánh bóng?
Hầu hết các xưởng sản xuất đều sử dụng nhôm được đánh bóng vì đó là lựa chọn tự nhiên nhất. Tuy nhiên, phương pháp này kém hiệu quả khi bước sóng ánh sáng ngày càng dài. Vàng thì khác; nó có khả năng thu hút một tỷ lệ lớn hơn các bức xạ hồng ngoại dài bắt nguồn từ bóng đèn. Bằng cách phủ vàng lên tấm phản xạ, chúng ta có thể tập trung năng lượng vào một điểm cụ thể. Nhờ đó, mật độ nhiệt ở vị trí cần xử lý sẽ cao hơn, mà không cần tăng công suất bóng đèn hay gây áp lực lên hệ thống.
Về vấn đề nhiệt độ
Vấn đề là khi chúng ta tập trung năng lượng một cách mạnh mẽ như vậy, nhiệt độ của bóng đèn sẽ tăng lên rất nhanh. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát có thể xử lý được lượng nhiệt này. Nếu dòng khí lưu thông kém, các sợi dây tóc trong bóng đèn sẽ bị cháy sớm hơn dự kiến. Để duy trì nhiệt độ ổn định trên toàn bộ wafer, chúng ta thường kết hợp các tấm phản xạ này với bóng đèn thạch anh có công suất cao. Điều này giúp kiểm soát nhiệt độ một cách hiệu quả.
Cách thực hiện việc thay thế
Tin tốt là việc thay thế các tấm phản xạ này khá đơn giản. Thông thường, chỉ cần thay thế toàn bộ bộ phận phản xạ mà thôi. Không cần phải can thiệp vào hệ thống dây điện hay bộ nguồn điện.
Nhưng điều quan trọng là bạn cần điều chỉnh lại các bộ điều khiển PID. Vì lớp vàng có khả năng chuyển giao nhiệt tốt hơn nhiều, nên các thiết lập cũ có thể sẽ không còn phù hợp nữa. Bạn cần giảm công suất bóng đèn một chút để tránh làm hỏng wafer.