Trong môi trường sản xuất, người ta nhanh chóng nhận ra rằng ngay cả khi sự chênh lệch nhiệt độ của wafer sau quá trình sấy chỉ là 1,2°C, thì nhiệt độ này vẫn có thể vượt quá giới hạn cho phép trong quy trình in ấn. Khi kích thước của các linh kiện ngày càng nhỏ, yêu cầu về độ chính xác trong việc điều chỉnh nhiệt độ cũng tăng lên – điều này hoàn toàn dễ hiểu. Đèn sấy cần phải tạo ra nguồn nhiệt ổn định và nhanh chóng, đồng thời không gây ra sự xuất hiện của các hạt bụi.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng các đèn sấy wafer có bộ phát tia hồng ngoại bước sóng ngắn. Những đèn này tạo ra trường nhiệt độ đồng đều trên toàn bề mặt wafer, với độ chính xác lên đến ±0,1°C. Khả năng phản ứng nhanh với nhiệt độ giúp rút ngắn thời gian xử lý. Thân đèn được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch loại 1–100, tức là không gây ra sự xuất hiện của bất kỳ hạt bụi nào. Nguồn nhiệt tạo ra vẫn ổn định trong phạm vi 1% trong suốt 5.000 giờ hoạt động, do đó quy trình xử lý vẫn được duy trì ổn định.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong quy trình xử lý phim phơi sáng
Độ đồng đều của nhiệt độ chính là yếu tố quyết định chất lượng sản phẩm. Việc phân bổ nhiệt độ ở mức dưới một milimét giúp duy trì độ chính xác của các kích thước quan trọng trên wafer, từ đó giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm. Đèn có thể đạt đến nhiệt độ mong muốn trong vài giây, giúp rút ngắn thời gian xử lý mà không gây ra sự chênh lệch nhiệt độ. Việc sử dụng ít năng lượng hơn cũng là một ưu điểm, vì nhiệt được tạo ra chỉ để làm nóng wafer, chứ không phải toàn bộ căn phòng. Kết quả xử lý luôn ổn định từ ca xử lý này sang ca khác, giúp giảm lượng sản phẩm bị hỏng và giảm chi phí sử dụng vật tư.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt
Khi lắp đặt, cần đảm bảo rằng đèn được kết nối phù hợp với cấu trúc của buồng xử lý và khả năng phản ứng của bộ điều khiển PID. Nếu các bộ phản xạ không được lắp đặt đúng cách hoặc nguồn điện không đủ mạnh, điều này sẽ ảnh hưởng đến độ đồng đều của nhiệt độ. Cần có một đường dây điều khiển chuyên dụng 24V để duy trì nhiệt độ mong muốn khi điện áp giảm. Cần kiểm tra kỹ lưỡng vỏ đèn và các bộ phận lắp đặt để đảm bảo chúng không bị ảnh hưởng bởi các hóa chất sử dụng trong quy trình xử lý. Sau khi lắp đặt và hiệu chuẩn xong, việc bảo trì gần như không cần thiết – tuy nhiên độ chính xác trong việc lắp đặt phải rất cao, trong phạm vi 0,2 mm.