Tại sao chúng tôi chuyển sang phương pháp sấy bằng sóng hồng ngoại?
Khi vận hành nhà máy sản xuất chip, việc đảm bảo quy trình sản xuất không gây ô nhiễm môi trường và không sử dụng chì không chỉ là yêu cầu mang tính hình thức trong các cuộc kiểm toán – mà còn là điều cần thiết để tạo ra một quy trình sản xuất sạch hơn. Trong thời gian dài, chúng tôi vẫn sử dụng những lò sấy lớn. Nhưng vấn đề là việc làm nóng một lượng không khí lớn như vậy rất lãng phí năng lượng. Hơn nữa, luồng không khí này còn là nguyên nhân gây ra sự tích tụ bụi bẩn, điều mà chúng ta tuyệt đối không muốn xảy ra gần các tấm wafer.
Đó chính là lý do chúng tôi chuyển sang phương pháp sấy bằng sóng hồng ngoại. Phương pháp này giúp chúng tôi loại bỏ hoàn toàn nhu cầu sử dụng không khí trong quá trình sấy.
Điều quan trọng nhất chính là việc truyền năng lượng.
Thay vì làm nóng cả căn phòng, các bóng đèn sóng hồng ngoại sẽ truyền bức xạ điện từ trực tiếp vào tấm wafer. Hãy tưởng tượng việc đứng dưới ánh nắng mặt trời vào một ngày lạnh: bạn vẫn cảm nhận được hơi nóng ngay lập tức, ngay cả khi không khí xung quanh rất lạnh. Năng lượng được truyền trực tiếp vào các phân tử trong chất lỏng dùng để sấy. Vì vậy, chúng ta không cần phải sử dụng những bộ phận làm nóng cồng kềnh trong nhiều giờ để đạt được nhiệt độ mong muốn. Quá trình sấy diễn ra rất nhanh. Điều này giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng cho mỗi tấm wafer được xử lý.
Giữ cho mọi thứ sạch sẽ và thân thiện với môi trường.
Việc đáp ứng các tiêu chuẩn môi trường trở nên dễ dàng hơn khi chúng ta loại bỏ những yếu tố gây ô nhiễm. Hệ thống sấy bằng sóng hồng ngoại hoạt động bằng điện, không tạo ra khí thải, và các bộ phận làm nóng cũng không chứa chì – tức là không có gì gây ô nhiễm cả.
Chúng tôi gọi đây là phương pháp “sấy khô”. Bạn không cần phải sử dụng các hóa chất để truyền nhiệt từ điểm A sang điểm B. Quá trình sấy diễn ra rất đơn giản.
Những khó khăn trong quá trình triển khai.
Tuy nhiên, việc sử dụng phương pháp này không hề đơn giản. Nếu bạn tăng cường độ bức xạ quá mức, bề mặt tấm wafer sẽ bị khô quá nhanh, khiến chất lỏng bị mắc kẹt bên trong. Điều này sẽ gây ra hiện tượng nổi bong bóng hoặc bề mặt tấm wafer bị bong tróc, điều này rất tồi tệ đối với chất lượng sản phẩm.
Bí quyết nằm ở bước sóng của ánh sáng. Khi cần tốc độ sấy nhanh, chúng ta sử dụng bước sóng ngắn; còn khi cần nhiệt độ cao hơn để thấm sâu vào vật liệu, chúng ta sử dụng bước sóng trung bình.
Một mẹo nhỏ: đừng lơ là việc lắp đặt quạt làm mát cho các bộ phận của bóng đèn. Nếu các bộ phận này quá nóng, bóng đèn sẽ hỏng nhanh hơn dự kiến.
Điều tuyệt vời nhất là bạn có thể loại bỏ những chiếc lò sấy cồng kềnh kia. Thay vào đó, bạn chỉ cần sử dụng những thiết bị sấy nhỏ gọn. Như vậy, bạn vừa có thể đạt được chứng nhận về môi trường, vừa tiết kiệm diện tích, đồng thời duy trì được tốc độ sản xuất như mong muốn.