别再浪费红外线能量了
说实话，能源的浪费其实是一种设计缺陷。在晶圆加工过程中，这种现象屡见不鲜。大多数人仍然使用普通的铝制反射器，但问题在于，大量的红外线能量会泄漏掉或被外壳吸收掉，这无疑是一种浪费。
因此，我们才会使用镀金反射器。黄金具有更出色的反射红外线的能力。这样一来，机器的框架就不会无缘无故地变热，而那些红外线能量则能够准确地照射到晶圆上。
为什么黄金比抛光铝更好
大多数工厂都选择使用抛光铝，因为它是最常见的材料。虽然它也能起到作用，但当红外光的波长变长时，它的效果就会大打折扣。
而黄金则不同。它能捕捉到更多来自灯源的长波红外辐射。通过在反射器上涂覆黄金，我们可以将能量集中起来，形成一股强烈的光束。这样，目标区域就能获得更高的热量密度，同时无需增加功率，从而减轻系统的负担。
关于热量的问题
不过，有个问题需要注意：当能量被如此集中地传递时，灯的温度也会随之上升。你必须确保冷却系统能够处理那些无法透过反射器的热量。如果气流不足，那么灯丝很快就会烧毁。为了保持整个晶圆的稳定性，我们通常会将这类反射器与高功率石英灯一起使用，这样才能避免温度失控。
如何安装
好消息是，更换这些反射器相当简单。通常只需要直接替换原来的反射器组件即可，无需改动电路或拆解电源。
不过，有一点很重要——必须重新校准PID控制器。因为镀金反射器在传递热量方面效率极高，所以原来的设定值可能会过高。你需要适当降低功率，以避免损坏晶圆。