防止红外灯损坏晶圆
在高负载的半导体生产环境中，哪怕只有一盏红外灯出现故障，都可能在几秒钟内毁掉整批晶圆。这简直就是一场灾难。一旦石英管破裂，玻璃碎片和污染物就会直接落在晶圆上，造成严重破坏。
因此，我们使用陶瓷端盖来解决这个问题。这虽然是个简单的解决方案，但它能够确保一切保持稳定，更重要的是，还能避免污染。
应对热量问题
红外发射器在工作时会产生极高的温度。在密封处，这种热膨胀效应非常剧烈。如果使用普通的金属支撑结构，那就等于自找麻烦。
我们用高纯度的陶瓷端盖来替代它们。可以把它们看作是一种“隔热垫”，它们位于石英管与电气端子之间，能够吸收加热和冷却过程中的机械应力，从而防止石英管破裂。
控制污染问题
金属端盖的真正问题在于它们会氧化，随着时间的推移，它们会逐渐剥落。这样，金属粉尘就会飘散到洁净室里，而这是绝对不能发生的。
陶瓷则不会发生这种情况，因为它们具有化学稳定性。即使石英管烧毁了，陶瓷端盖也能将灯丝固定住，从而避免碎片飞溅到晶圆表面。这样，污染物就被限制在某个范围内，便于处理，不会影响整个生产过程。
需要注意的事项
不过，这并非毫无代价的。陶瓷端盖比普通的金属端盖更厚实，占用更多空间。在更换之前，请务必检查安装空间的大小。如果固定支架太紧，就会对陶瓷端盖施加侧向压力。由于陶瓷是脆性的，一旦受到压力就会破裂。所以，必须给它足够的空间。
专业建议
对于那些对任何形式的污染都极为敏感的环境来说，我们建议使用陶瓷端盖。通过在电源连接点和石英管之间加入陶瓷接口，可以大大降低发生灾难性故障的风险。
请确保将它们连接到稳定的电源上。电压波动会对密封部位造成损害，而稳定的电压则有助于保持一切正常运转。