停止给工具加热，而是将热量直接传递到晶圆上 普通的红外灯其实就跟普通灯泡没什么两样——它们会将热量向各个方向散发。对于晶圆加工设备来说，这显然是个大问题。 当您提高加热功率时，大部分能量并不会作用于晶圆上，而是直接撞击到设备的内部结构上。这样一来，设备的内部部件就可能会因为过热而变形，更糟糕的是，...

在检测过程中，稳定性是以度来衡量的，而非分钟。在光刻胶烘焙过程中，即使只有几十分之一的温度偏差，也足以影响产品的关键尺寸；而其中的微粒污染则可能破坏整个产品的质量。我们设计了这种加热器，就是为了消除这些误差。 我们的设计思路 我们采用了短波红外元件以及石英强化结构来确保加热的均匀性。升温速度很快，...