我们为何选择红外固化技术来干燥晶圆
在制造晶圆的过程中，追求环保、无铅化并非只是为了应付审计要求，而是真正实现更清洁的工艺流程。长期以来，我们一直依赖那些大型对流式烤箱。但问题在于：加热大量空气其实是一种能源浪费。此外，流动的空气还会成为灰尘和颗粒物的传播途径，而这些物质绝不能靠近晶圆。
因此，我们转而使用红外固化技术。这种技术无需使用空气进行加热。关键在于能量传递方式。与其让整个房间都变热，不如用红外线灯直接照射晶圆。这就好比在寒冷的日子里站在阳光下——即使周围的空气很冷，你仍能立刻感受到热量。能量直接作用于光刻胶或溶剂中的分子，使其振动。由于这种直接的能量传递方式，无需长时间保持高温状态，从而大大降低了每块晶圆所需的能量消耗。
保持环境清洁与环保
既然不需要使用那些复杂的化学物质来传递热量，那么满足环保标准就变得简单多了。红外固化系统以电力为动力，没有燃烧产生的气体，也没有含铅的加热元件，完全避免了污染问题。
我们称其为“干式”加工方式。无需使用复杂的化学物质即可将热量从一点传递到另一点。它非常高效。
不过，也有需要考虑的技术难题
虽然这项技术看似简单，但实际上并不如此。如果加热强度过高，就会导致晶圆表面过快干燥，使溶剂被困在表面之下，进而产生气泡或剥落现象，这会严重影响成品率。解决这个问题的秘诀在于波长选择——需要快速加热时则使用短波，而需要让热量更深地渗透到材料内部时，则使用中波。另外，千万别忽视对灯箱的冷却系统，因为如果灯箱过热，灯的寿命将会大幅缩短。
最棒的是，现在终于可以摆脱那些庞大的烤箱了。我们可以用紧凑型的固化隧道来替代它们。这样不仅能获得环保认证，还能节省空间，同时保持稳定的生产效率。