Verhindern Sie, dass Ihre IR-Lampen Ihre Wafer zerstören
In einer Hochlast-Umgebung können bereits eine oder zwei defekte Lampen dazu führen, dass ganze Chargen an Wafern innerhalb von Sekunden zerstört werden. Das ist ein Albtraumszenario. Wenn die Quarzhülle platzt, fallen Glassplitter und Partikel direkt auf die Substrate herab.
Deshalb verwenden wir keramische Endkappen. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch sie sorgen dafür, dass alles stabil bleibt – und vor allem sauber bleibt.
Umgang mit der Hitze
IR-Emitter werden unglaublich heiß. An den Verschweißungsstellen entsteht enorme thermische Spannung. Wenn man einfache Metallhalterungen verwendet, ruft das Probleme hervor. Wir haben diese durch hochreine keramische Halterungen ersetzt. Man kann sie als „thermische Polster“ betrachten. Sie liegen zwischen dem Quarztubus und den elektrischen Anschlüssen und absorbieren die mechanischen Belastungen während der Heiz- und Kühlzyklen. Dadurch wird verhindert, dass der Quarz bei hohem Stromverbrauch reißt.
Vermeiden Sie Unordnung
Das eigentliche Problem bei Metallhalterungen ist, dass sie oxidiert werden. Im Laufe der Zeit zerfallen sie in kleine Stücke. Dadurch entsteht Metallstaub, der sich in der Reinraumumgebung verteilt – was man auf keinen Fall möchte. Keramik hingegen ist chemisch inerte. Falls eine Lampe ausfällt, halten die keramischen Halterungen den Glühfaden fest. Dadurch wird verhindert, dass Schäden auf der Oberfläche der Wafer entstehen. So bleibt der Schmutz an einem Ort, sodass man ihn leicht beseitigen kann, ohne die gesamte Produktion zu gefährden.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Es ist jedoch nicht alles perfekt. Es gibt Nachteile. Keramische Halterungen sind größer als herkömmliche Metallhalterungen. Bevor man sie einsetzt, sollte man unbedingt die Freiräume im Gehäuse überprüfen. Wenn die Befestigungsclips zu eng sind, entsteht Druck auf die Keramik. Da es sich um Keramik handelt, kann sie sich nicht biegen – sie bricht stattdessen. Geben Sie ihr daher etwas Platz.
Tipp: Wir empfehlen diese Halterungen für alle Umgebungen, in denen selbst geringfügige Verunreinigungen katastrophale Folgen haben können. Durch die Verwendung einer keramischen Verbindung zwischen der Stromversorgung und dem Quarztubus sinkt das Risiko eines katastrophalen Ausfalls erheblich. Stellen Sie sicher, dass die Halterungen mit einer stabilen Stromversorgung verbunden sind. Stromspitzen können den Verschweißungen schaden – ein konstanter Stromfluss hingegen sorgt dafür, dass alles ordentlich funktioniert.