Temperatursensor für Waferwerkzeug
Hören Sie auf, Ihre Werkzeuge zu erhitzen – heizen Sie stattdessen die Wafer. Standard-Infrarotlampen sind im Grunde genommen einfach Glühbirnen –...
Heizgerät für Halbleiter Inspektionstool
Bei der Inspektion wird die Stabilität des Heizsystems in Grad gemessen – nicht in Minuten. Schon wenige Zehntelgrad an Drift während des...