Bei der Inspektion wird die Stabilität des Heizsystems in Grad gemessen – nicht in Minuten. Schon wenige Zehntelgrad an Drift während des Trocknungsprozesses reichen aus, um kritische Abmessungen zu beeinflussen. Auch Partikel können dazu führen, dass die Ergebnisse ungenau werden. Wir haben daher einen Heizer entwickelt, der diese Unregelmäßigkeiten ausgleicht.
Was wir getan haben
Wir haben kurzwellige Infrarotkomponenten sowie ein thermisches Design mit Quarzkern verwendet. Die Erwärmung erfolgt schnell, und die Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene liegt bei ±0,1°C. Die Einstellungen bleiben auch während des Trocknungsprozesses konstant – dadurch bleiben die Bedingungen für die Belichtung und Entwicklung konstant.
Das Gerät ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet. Es verfügt über verschlossene Schnittstellen sowie Materialien mit geringem Gasausstoss – dadurch bleibt die Anzahl der Partikel niedrig. Das Gerät kann Tag für Tag genutzt werden, selbst 24/7. Der thermische Drift liegt dabei unter 0,05°C pro 1.000 Stunden.
Warum es sich gut für Inspektionsprozesse eignet
Beim Inspektieren sorgt der Heizer dafür, dass das thermische Profil konstant bleibt. Dadurch sinkt die Varianz in der Lichtintensität, und die Bedingungen beim Trocknen bleiben von Charge zu Charge konstant. Das bedeutet weniger Nacharbeiten, weniger Ausschuss sowie konstante Ergebnisse. Die schnelle Reaktionszeit sowie der geringe Energieverbrauch tragen dazu bei, dass die Energiekosten gering bleiben. Zudem sind die Wartungsintervalle kurz – man kann also auf zuverlässige Ergebnisse zählen.
Was Sie beachten müssen
Die Kompatibilität hängt vom mechanischen Aufbau des Geräts, vom Stromkreis sowie von der Steuerungsinterface ab. Die Lieferzeit für Anpassungen bezüglich Anschlüssen, Spannung und Montage beträgt 2–3 Wochen. Um beste Leistung zu erzielen, müssen die Abgas- und Kühlmittelströme des Geräts den thermischen Anforderungen des Heizers entsprechen. Andernfalls wird die Stabilität der Einstellungen beeinträchtigt.