
Verhindern, dass Dinge in die Luft fliegen: Infrarot-Heizung in chemischen Bereichen
Wenn man in einer Halbleiterfabrik arbeitet, kennt man das Problem. Chemische Reinigungsprozesse sind notwendig – doch dabei werden meist flüchtige Lösungsmittel verwendet. Wenn man nun eine herkömmliche Infrarotlampe in dieses Umfeld setzt, heizt man nicht nur den Wafer auf – man lädt im Grunde dazu ein, dass ein Brand ausbricht.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden. Anstelle von Designs mit offenen Elementen, bei denen alles ungeschützt bleibt, umhüllen wir die Lampen mit einem speziellen, explosionsgeschützten Gehäuse.
Wie die Abdichtung funktioniert
Stellen Sie es sich wie eine Schutzblase vor. Wir umhüllen die Infrarotlampen mit hochwertigem Quarz- oder Borosilikatglas und verschließen die Enden mit Dichtungen, die auch bei Kontakt mit aggressiven Chemikalien nicht versagen. Dadurch entsteht eine feste Trennwand zwischen dem Heizelement und der Umgebungsluft. Falls also Dampfe aus Chemikalien in die Kammer gelangen, ist das kein Problem – sie können nicht bis zum heißen Wolframdraht vordringen.
Durch die hermetische Abdichtung wird der Gasaustausch verhindert. Das hat zwei Vorteile: Erstens werden korrosive Dämpfe daran gehindert, die inneren Teile der Lampe zu zerstören – was normalerweise dazu führt, dass die Lampen früh ausfallen. Zweitens bleiben eventuelle Funken an den elektrischen Anschlüssen innerhalb des Gehäuses gefangen, weit entfernt von allem, was einen Brand auslösen könnte.
Umgang mit Wärme und Stress
Das Schwierige ist: Wärme sorgt dafür, dass Materialien sich ausdehnen. Wenn die Abdichtung zu steif ist, dehnt sich das Quarzglas aus, es splittert – und die Sicherheitsbarriere verschwindet.
Wir konstruieren unsere Gehäuse so, dass sie mit den schnellen Temperaturänderungen umgehen können, ohne dass die Abdichtung beschädigt wird. Doch man muss auf den Luftstrom achten. Auch wenn die Elektronik sicher im Gehäuse ist, wird das äußere Glas dennoch extrem heiß. Wenn das Lüftungssystem zu klein ist, überhitzt der Rest der Maschine. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch viele vergessen sie.
Einsetzen in die Anlage
Das Beste ist: Diese Lampen können einfach als Ersatz verwendet werden. Man muss die gesamte Anlage nicht neu gestalten.
Wir verwenden außerdem verstärkte Anschlüsse – schließlich vibrieren Maschinen. Das Letzte, was man möchte, ist, dass ein Kabel in einer brennbaren Zone locker wird.
Indem man die Wärmequelle isoliert, entfernt man im Grunde das „Zündholz“ vom Benzin. So erhält man die nötigen hohen Prozesstemperaturen – ohne dass ein Brandrisiko besteht.