Warum wir in Reinräumen auf Infrarotheizung statt auf heiße Luft setzen Bei der Halbleiterverarbeitung kommt es letztendlich nur auf eine Sache an:...

In der Fertigungsstätte sind thermische Schwankungen während des Trocknens der Wafer oder während des Erhitzens des Photoresists nicht nur...

In der Lithografie dient das Wafer-Trocknungsöfen nicht nur dazu, Feuchtigkeit zu entfernen. Er bestimmt vielmehr den thermischen Rahmen für alle...