دست از هدر دادن انرژی مربوط به نور مادون قرمز بردارید!
بیایید صادق باشیم: هدر دادن انرژی، در واقع یک نقص در طراحی است. در فرآیند پردازش ویفرها، ما همواره شاهد این مشکل هستیم. اکثر افراد از بازتابندههای آلومینیومی استاندارد استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که بخش زیادی از انرژی مربوط به نور مادون قرمز، یا از بین میرود یا توسط بدنه دستگاه جذب میشود. این کار، واقعاً هدر دادن انرژی است.
به همین دلیل، ما از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. طلا، در بازتاب نور مادون قرمز عملکرد بهتری دارد. به این ترتیب، جایی که انرژی باید برسد، یعنی روی ویفر، انرژی مناسبی وجود دارد.
چرا طلا بهتر از آلومینیوم صیقلی است؟
اکثر کارخانهها از آلومینیوم صیقلی استفاده میکنند، چون این روش، روش استاندارد است. اما این روش در طولموجهای بلند، عملکرد خوبی ندارد.
طلا متفاوت است؛ طلا میتواند درصد بسیار بالاتری از انرژی نور مادون قرمز را جذب کند. با قرار دادن لایههای طلا روی بازتابنده، میتوانیم انرژی را در یک پرتو متمرکز درآوریم. به این ترتیب، تراکم حرارتی روی ویفر بسیار بالاتر میشود، بدون اینکه نیاز به افزایش توان دستگاه باشد.
درباره حرارت…
مشکل اینجاست که وقتی انرژی را اینقدر متمرکز میکنیم، دمای لامپ افزایش مییابد. باید مطمئن شویم که سیستم خنککننده، قادر به مقابله با این حرارت باشد. اگر جریان هوا کافی نباشد، فیلامنتهای لامپ زودتر از حد معمول خراب میشوند. برای حفظ استابیلیت در سراسر ویفر، معمولاً از لامپهای کوارتز با توان بالا همراه با این بازتابندهها استفاده میشود. این کار، از افزایش ناگهانی دما جلوگیری میکند.
نحوه استفاده از این بازتابندهها…
خبر خوب این است که جایگزینی این بازتابندهها بسیار ساده است؛ معمولاً فقط کافی است بازتابنده قدیمی را با بازتابنده جدید جایگزین کنیم. نیازی به دستکاری سیمها یا تخریب منبع تغذیه نیست.
اما – و این موضوع مهم است – باید کنترلکنندههای PID را دوباره تنظیم کنید.
چون لایه طلا، در انتقال حرارت، بسیار کارآمدتر است، مقادیر تنظیم شده قبلی احتمالاً دقیق نخواهند بود. بنابراین، باید توان لامپ را کمی کاهش دهید تا از خراب شدن ویفر جلوگیری شود.