در فرآیند تولید، نوسانات دمایی در هنگام خشک کردن ویفرها یا حرارتدادن فوتورزیست، نه تنها باعث کاهش کارایی میشوند، بلکه میتوانند منجر به ایجاد نقصهایی در محصول نهایی شوند. یک نقطه داغ با دمای ۳ درجه سانتیگراد میتواند باعث اختلال در ابعاد حیاتی ویفر شود. همچنین، روند آهسته حرارتدادن میتواند باعث تجمع مواد حلال و ایجاد نقصها شود. لامپ مادون قرمز SK15 برای فرهای حرارتی، به گونهای طراحی شده است که این مشکلات را از طریق تأمین حرارت منظم، برطرف کند.
آنچه در این فرآیند اهمیت دارد، کنترل دماست. لامپ SK15 از عناصر مادون قرمز کوتاهامواج استفاده میکند؛ این عناصر در کمتر از یک ثانیه واکنش نشان میدهند. بنابراین میتوانید کنترل دما را به خوبی انجام دهید. در ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری، این لامپ دقت دمایی ±۰٫۱ درجه سانتیگراد را حفظ میکند. طیف نور این لامپ با جذب فوتورزیست سازگار است؛ بنابراین تغییرات دمایی در لبهها و مرکز ویفر کمتر خواهد بود. این لامپ با محیطهای پاکسازی شده کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز سازگار است؛ زیرا طراحی آن باعث کاهش ذرات موجود در محیط میشود. همچنین، این لامپ باعث کاهش مصرف انرژی نیز میشود؛ زیرا نور مادون قرمز مستقیماً ویفر را گرم میکند، نه فضای اطراف آن. نصب این لامپ ساده است، اما باید به نکات مربوطه توجه کرد. لامپ SK15 را میتوان در پلتفرمهای استاندارد فرهای حرارتی نصب کرد؛ کافی است مطمئن شوید که کنترلر فر از پروتکلهای لامپ پشتیبانی میکند. همچنین، باید از محافظت مناسب و جداسازی حرارتی استفاده کرد تا اجزای اطراف از گرمای لامپ در امان بمانند. تنظیمات لامپ را یکبار انجام دهید؛ سپس فرآیند تولید تحت کنترل خواهد بود.