בתהליך הבדיקה, רמת היציבות של הטמפרטורה נמדדת במעלות, ולא בדקות. כמה עשיריות מעלה של שינוי בטמפרטורה במהלך תהליך החימום יכולים לגרום לשינויים בממדים החשובים של החומר. כמו כן, נוכחות של חלקיקים יכולה לפגוע באיכות המוצר. לכן יוצרנו את מכשיר החימום הזה, כדי להפחית את השינויים האלו.
מה עשינו מאחורי הקלעים
השתמשנו ברכיבי אינפרא-אדום בעלי גלאות קצרים, ובעיצוב תרמי המבוסס על קוורץ. זמן החימום מהיר, ורמת האחידות של הטמפרטורה על פני השבב היא ±0.1°C. ערכי הטמפרטורה נשארים קבועים גם במהלך תהליכי החימום השונים, כך שהפרמטרים של תהליך החימום נשארים קבועים.
המכשיר מתאים לשימוש בחדרי עבודה ברמת ניקיון 1–100, ומכיל אינטרפייסים אטומים וחומרים שמונעים פליטה של חלקיקים. המכשיר יכול לפעול יום אחר יום, אפילו 24/7, ורמת השינוי בטמפרטורה נשארת תחת 0.05°C לכל 1,000 שעות.
למה הוא מתאים לתהליכי בדיקה
בתהליכי בדיקה, המכשיר מאפשר שמירה על רמת טמפרטורה קבועה. כך, התנאים של תהליך החימום נשארים קבועים מלאספקה אחת לאחרת. דבר זה מקטין את מספר התיקונים, את כמות החומרים הבלויים, ומשפר את איכות המוצר. התגובה המהירה של המכשיר והצריכה הנמוכה של אנרגיה מאפשרים שימוש יעיל באנרגיה, והזמן הארוך שהמכשיר יכול לפעול מקצר את זמן התחזוקה. אין צורך בתיקונים – רק איכות שאפשר לסמוך עליה.
מה צריך לוודא
התאמה של המכשיר תלויה במבנה המכני שלו, במערכת ההזנה שלו ובאינטרפייס הבקרה שלו. זמן האספקה של החלקים הנדרשים הוא 2–3 שבועות.
כדי לקבל את הביצועים הטובים ביותר, יש לוודא שמערכות הפליטה והקירור של המכשיר תואמות את הדרישות התרמיות שלו. אם זה לא קורה, רמת היציבות של ערכי הטמפרטורה תיפגע.