निरीक्षण के दौरान, स्थिरता को डिग्रियों में ही मापा जाता है, मिनटों में नहीं। फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान होने वाला थोड़ा सा बदलाव भी महत्वपूर्ण मापदंडों को प्रभावित कर सकता है; एक छोटा सा कण भी पूरे उत्पाद को नष्ट कर सकता है। हमने इस निरीक्षण उपकरण में ऐसा ही डिज़ाइन इस्तेमाल किया है, ताकि ऐसी अस्थिरताओं को दूर किया जा सके।
हमने क्या किया?
हमने शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों एवं क्वार्ट्ज-सुदृढ़ीकृत थर्मल डिज़ाइन का उपयोग किया। उपकरण तेज़ी से गर्म हो जाता है, एवं वेफरों पर तापमान की समानता ±0.1°C तक रहती है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों ही स्थितियों में सेटपॉइंट स्थिर रहता है; इससे एक्सपोज़र एवं विकास प्रक्रियाओं में कोई बदलाव नहीं होता।
यह उपकरण क्लीनरूम क्लास 1–100 में ही काम कर सकता है; इसमें सील्ड इंटरफेस एवं कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है, ताकि कणों की संख्या स्थिर रहे। यह उपकरण दिन-रात काम कर सकता है, एवं 1,000 घंटों में तापमान में केवल 0.05°C का ही बदलाव होता है।
यह निरीक्षण प्रक्रिया में क्यों उपयोगी है?
निरीक्षण के दौरान, यह उपकरण चक में तापमान को स्थिर रखता है। इससे वेफरों पर तापमान में कोई बदलाव नहीं होता, एवं हर बार एक ही तरह की परिस्थितियाँ बनती हैं। इससे पुनर्निर्माण की आवश्यकता कम हो जाती है, अपशिष्ट कम हो जाता है, एवं उत्पादन की गुणवत्ता स्थिर रहती है। तेज़ प्रतिक्रिया एवं कम ऊर्जा खपत के कारण ऊर्जा-उपयोग नियंत्रित रहता है, एवं लंबे समय तक काम करने के कारण रखरखाव की आवश्यकता कम हो जाती है।
क्या आपको और कुछ चाहिए?
इस उपकरण की संगतता, उसके यांत्रिक डिज़ाइन, पावर सप्लाई एवं नियंत्रण इंटरफेस पर निर्भर है। कनेक्टर, वोल्टेज एवं माउंटिंग संबंधी सेटिंगों के लिए 2–3 हफ्तों का समय लगता है।
सर्वोत्तम प्रदर्शन हेतु, यह सुनिश्चित करें कि निरीक्षण उपकरण का एक्जॉस्ट एवं कूलेंट फ्लो, हीटर की थर्मल आवश्यकताओं के अनुरूप हो। अन्यथा, सेटपॉइंट में बदलाव हो जाएगा।