Dalam proses inspeksi, stabilitas suhu diukur dalam satuan derajat, bukan menit. Sedikit sekali penyimpangan suhu selama proses pemanasan fotoresist sudah cukup untuk mengganggu dimensi-dimensi kritis komponen tersebut. Partikel-partikel kecil pun dapat merusak kualitas komponen tersebut. Kami merancang alat pemanas ini agar dapat menghilangkan variabilitas suhu tersebut.
Apa yang telah kami lakukan Kami menggunakan elemen inframerah berpanjang gelombang pendek, serta desain termal yang menggunakan bahan kuarsa sebagai bahan penyangga. Proses pemanasan berlangsung dengan cepat, dan tingkat keseragaman suhu pada permukaan wafer mencapai ±0,1°C. Nilai setpoint tetap konstan selama proses pemanasan, sehingga kondisi eksposur dan proses pengolahan tetap stabil.
Alat ini dirancang untuk digunakan di lingkungan kelas 1–100, dengan antarmuka yang tertutup dan bahan-bahan yang minim memproduksi gas, sehingga jumlah partikel tetap rendah. Alat ini dapat beroperasi secara terus-menerus, bahkan 24/7, dengan penyimpangan suhu kurang dari 0,05°C per 1.000 jam.
Mengapa alat ini cocok untuk proses inspeksi Dalam proses inspeksi, alat pemanas ini membantu menjaga stabilitas suhu di area yang akan diperiksa. Variasi suhu menjadi lebih kecil, sehingga kondisi pemanasan tetap sama setiap kali proses inspeksi dilakukan.
Hal ini berarti ada lebih sedikit produk yang perlu diperbaiki, limbah yang dihasilkan juga berkurang, dan kualitas hasil inspeksi tetap konsisten. Respons alat yang cepat dan konsumsi energi yang rendah membuat penggunaan energi menjadi efisien. Selain itu, interval perawatan alat ini juga panjang, sehingga waktu perbaikan pun menjadi lebih singkat. Tidak ada masalah—hanya hasil yang dapat dipercaya.
Apa yang perlu diperhatikan Kompatibilitas alat ini bergantung pada struktur mekanisnya, sistem pasokan daya, dan antarmuka kontrolnya. Waktu pengerjaan untuk penyesuaian koneksi, tegangan, dan montase alat ini adalah 2–3 minggu.
Untuk mendapatkan kinerja terbaik, pastikan bahwa sistem pembuangan udara panas dan sistem pendinginan alat inspeksi sesuai dengan beban termal yang dihasilkan oleh alat pemanas tersebut. Jika tidak, stabilitas nilai setpoint akan terganggu.