Sensor suhu untuk alat pengolahan wafer
Berhentilah memanaskan alat tersebut, dan mulailah memanaskan wafernya saja.
Lampu inframerah biasa pada dasarnya merupakan bohlam biasa—lampu ini...
Alat pemanas untuk inspeksi semikonduktor
Dalam proses inspeksi, stabilitas suhu diukur dalam satuan derajat, bukan menit. Sedikit sekali penyimpangan suhu selama proses pemanasan fotoresist...