グローブボックス用赤外線ヒーター素子

飛散物を防ぐ：ヒーターが故障したときでもウエハーを清潔に保つ方法 大量生産の半導体製造プロセスにおいて、赤外線ランプが破裂するというのは、単なる「メンテナンス上の問題」というだけでは済まされない。それはまさに悪夢そのものです。 グローブボックスの中で石英管が破裂するとどうなるか想像してみてください...