なぜ、ファブの乾燥処理にIR硬化技術を採用したのか ファブを運営する上で、「環境に優しく、鉛を含まない」ことは、単に監査のための要件を満たすだけではありません。実際にプロセスをよりクリーンにすることが重要です。長い間、私たちは大規模な対流式オーブンに頼ってきました。しかし、問題点があります。大量の...

なぜ無鉛半導体の乾燥に赤外線を利用するのか MEMSセンサーワイヤーを乾燥させる際、それは非常に危険な作業です。微細で繊細な構造から水分をすべて取り除かなければならないのですが、その過程でワイヤーが壊れたり変形したりしてはいけません。 長年にわたり、人々は対流式オーブンや化学薬品を使ってこの作業を...

製造現場において、乾燥温度のばらつきは些細な問題ではありません。これは製品の歩留まりに大きな影響を与えます。ソフトベイクやハードベイクの期間自体が厳しく設定されているため、ウェーハ全体で温度が均一でなければ、露光後に寸法の誤差が生じます。私たちは、このようなばらつきを根本的に防ぐために、このウェー...

製造現場では、スピンドライヤーから出てくるウェーハの温度が1.2℃でも偏差があると、リソグラフィーの要求条件を超えてしまうことをすぐに理解できます。ノードサイズが小さくなるにつれて、フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの許容範囲もより厳しくなります。当然のことです。ドライヤーランプは、再現性...

リソグラフィーにおいて、ウェーハ乾燥オーブンの役割は単に水分を除去するだけではありません。それは、その後行われる各種フォトレジストのソフトベイクやハードベイクのための熱的条件を決定するものです。チャック部に2℃の温度差が生じると、線幅に変化が生じますが、この変化は、測定結果には現れず、問題が発生し...

なぜ私たちの赤外線乾燥機が本物のように感じられるのか—無駄な上乗せなしで 私たちは、ほぼダウンタイムゼロで迅速に信頼できる熱を必要とする産業ライン向けの赤外線衣類乾燥ヒーターを製造しています。私たちの約束はシンプルです。OEMに期待されるような堅牢な品質を、工場直送の価格で提供します。 誇大広告な...