揮発性化学物質を加熱するときの安全対策 正直に言って、半導体の洗浄に使う化学薬品を加熱するのは非常に危険な作業です。火災や爆発しやすい溶剤を扱う際、わずかな火花や露出した加熱要素だけでも、単なる「技術的な問題」では済みません。それは大惨事を引き起こす可能性があります。 そのため、私たちは開放型のラ...

ウェーハ加熱装置が実験室を破壊するのを防ぐ方法 正直に言えば、化学的な清掃を行う場所でウェーハを加熱するのは非常に危険な作業です。可燃性や爆発性のある物質がある環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険要素となります。わずかな火花や端子の過熱だけで、火災が発生する可能性があります...

なぜ、ファブの乾燥処理にIR硬化技術を採用したのか ファブを運営する上で、「環境に優しく、鉛を含まない」ことは、単に監査のための要件を満たすだけではありません。実際にプロセスをよりクリーンにすることが重要です。長い間、私たちは大規模な対流式オーブンに頼ってきました。しかし、問題点があります。大量の...