レイボルド真空ヒーターのスペア部品

フォトレジストの焼成工程において、線幅の制御は非常に重要です。ヒーターの温度が0.5°Cでもずれると、CDのズレや不良品が発生します。Leyboldの真空ヒーターの予備部品は、真空中で何時間も安定した温度を維持するように設計されています。 技術的に重要な点 私たちは、高純度クォーツを使用した短波ハ...